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Equipement ALD pour les matériaux MEOL/BEOL

Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de dépôt ALD. Cet équipement vise à être utilisé pour le développement des technologies avancées FDSOI 10 nm et au-delà, et plus particulièrement les niveaux MEOL et BEOL. Cet équipement traitera des plaques 300 mm. Il vise le développement des diélectriques et des matériaux conducteurs pour les mémoires non-volatiles embarquées (eNVM) au niveau des interconnexions métalliques au-dessus des transistors. Il comprend les options à réponses obligatoires suivantes : - Formation maintenance niveau 1 (page 36 du cahier des charges) - Formation maintenance avancée ((page 36 du cahier des charges) Ainsi que le coût des options à réponses facultatives : - une station tampon (buffer station) pour le refroidissement des plaques (page 13 du cahier des charges) - une station de refroidissement (page 13 du cahier des charges) - une station tampon (buffer station) pour le stockage des wafers dummies (page 14 du cahier des charges) - une station d’alignement du notch (page 14 du cahier des charges) - un load port additionnel (page 14 du cahier des charges) - échangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement (page 16 du cahier des charges) - transformateur électrique (page 24 du cahier des charges) - deuxième année de garantie ((page 36 du cahier des charges)
CPV-Code: 31720000
Abgabefrist: 12.03.2025
Typ: ContractNotice
Status: None
Aufgabe: None
Vergabestelle:
name: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
address: 17 avenue des Martyrs Isère
postal_code: 38000
city: Grenoble - FR
country: FR
email: thomas.zemerli@cea.fr
phone: 0675022569
contact_point: Thomas ZEMERLI 0675022569 thomas.zemerli@cea.fr
idate: 19. Februar 2025 08:39
udate: 19. Februar 2025 08:39
doc:
authority_types:
activities:
Quelle: https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/00096717-2025
Unterlagen: https://www.marchespublics.gouv.fr
Zuschlagskriterium: price
Vertrag: None
Prozedur: None
Nuts: None
Veröffentlichung: 11.02.2025
Erfüllungsort: Grenoble - FR
Link:
Lose:
Name Los Nr 1 None
Gewinner None
Datum
Wert None
Anzahl Angebote None

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