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Tief-Ultraviolett (DUV) Stepper-Lithographiesystem

L’École polytechnique fédérale de Lausanne (EPFL) cherche à acquérir un équipement de lithographie «DUV (248nm) stepper» pour le Centre de micronanotechnologie (CMI), la plateforme de salles blanches ISO5 multidisciplinaires de l’EPFL. Une attention particulière sera accordée aux critères suivants: — performance de l’équipement (résolution et précision de l’alignement). — flexibilité de l’équipement (compatible avec des wafers de diamètre 100 mm, 150 mm et 200 mm avec un temps de conversion minimum), — qualité du support et disponibilité à long-terme des pièces de rechange.

CPV-Code:

38000000

Abgabefrist:

21.03.2018

Typ:

Contract notice

Status:

Submission for all lots

Aufgabe:

Other

Vergabestelle:

name:	Ecole polytechnique fédérale de Lausanne vice-présidence pour la recherche VPR DAR ECO
address:	BI A2 453 (bâtiment BI) station 7
postal_code:	1015
city:	Lausanne - CH
country:	CH
email:	None
phone:	None
contact_point:	Jérôme Butty
idate:	21. Juni 2020 07:54
udate:	21. Juni 2020 07:54
doc:	064250_2018.xml
authority_types:
activities:

Quelle:

http://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:064250-2018:TEXT:FR:HTML

Unterlagen:

None

Zuschlagskriterium:

The most economic tender

Vertrag:

Supplies

Prozedur:

Open procedure

Nuts:

None

Veröffentlichung:

10.02.2018

Erfüllungsort:

Lausanne - CH

Link:

Lose:

Name	Los Nr 1 Switzerland__Lausanne__
Gewinner	None
Datum
Wert	None
Anzahl Angebote	None

Tief-Ultraviolett (DUV) Stepper-Lithographiesystem

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