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Sputter System LS500S

Für die Erweiterung der Technologie wird im back-end-of-line Bereich des Halbleiterlabors der Max-Planck-Gesellschaft ein Sputter benötigt. Ziel ist es eine komplette Kupfertechnologie im Prozessbereich zu installieren. Dafür ist das Sputtern des „seed layers“ und der Barrierelage notwendig.
CPV-Code: 42990000
Abgabefrist:
Typ: Contract award notice
Status: Not applicable
Aufgabe: Other
Vergabestelle:
name: Halbleiterlabor der Max-Planck-Gesellschaft
address: Otto-Hahn-Ring 6
postal_code: 81739
city: München - DE
country: DE
email: None
phone: +49 8932354217
contact_point: Einkauf
idate: 11. Juni 2020 01:05
udate: 11. Juni 2020 01:05
doc: 103019_2018.xml
authority_types:
activities:
Quelle: http://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:103019-2018:TEXT:DE:HTML
Unterlagen: None
Zuschlagskriterium: The most economic tender
Vertrag: Supplies
Prozedur: Open procedure
Nuts: None
Veröffentlichung: 08.03.2018
Erfüllungsort: München - DE
Link:
Lose:
Name Los Nr 1 None
Gewinner Von Ardenne GmbH
Datum
Wert None
Anzahl Angebote 3

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