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Plate-forme de gravure RIE.

EPFL beabsichtigt im Jahr 2016 beabsichtigt die EPFL ein RIE Ätz-System für ihr Labor photonischer und Quantenmessungen (LPQM) der Fakultät Grundlagenwissenschaften (SB) zu erwerben. Die Ausrüstung wird für die Forschung an der Frequenzkamm Erzeugung auf einem Chip genutzt und wird im Zentrum von Mikro- und Nanotechnologien (CMI ) installiert werden. Hersteller können allgemeine Informationen zu den Labors für diese Forschung aus der Internet-Adresse http://klab.epfl.ch/latest_scientific_results_2 erhalten. Im Hinblick auf die Bedürfnisse der Fakultät SB und der spezifischen wissenschaftlichen Ziele der Labor LPQM wird der Schwerpunkt auf folgende Forschungsbereiche gelegt werden: Anwendung von RIE für extrem geringe Rauhigkeit bei dielektrischen Nano-Dünnschichten Ätzen, wie zum Beispiel Oxide (SiOx) und Nitride (SixNy). Extrem geringe Rauheit beim ätzen von Nanostrukturen ist von höchstem Interesse für geringe Verluste und hohen Qualitätsfaktor: —Minimierung der Rauheit auf Streuzentren, während Strukturabmessungen beibehalten werden. —Kontrolle der Physik auf der Nanoebene, und gleichzeitige präzise Geometrieübertragung. —Plasmabehandlung von Resists und neue Integrationsschemata, so dass neuartige Designs möglich werden für Strukturen hoher Güte.
CPV-Code: 38000000
Abgabefrist: 02.05.2016
Typ: Contract notice
Status: Submission for all lots
Aufgabe: Not specified
Vergabestelle:
name: École polytechnique fédérale de Lausanne, vice-présidence pour les affaires académiques
address: BI A2 453 (bâtiment BI) station 7
postal_code: 1015
city: Lausanne - CH
country: CH
email: None
phone: None
contact_point:
idate: 17. Juni 2020 11:27
udate: 17. Juni 2020 11:27
doc: 106223_2016.xml
authority_types: BODY_PUBLIC
activities:
Quelle: http://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:106223-2016:TEXT:DE:HTML
Unterlagen: None
Zuschlagskriterium: The most economic tender
Vertrag: Supplies
Prozedur: Open procedure
Nuts: None
Veröffentlichung: 26.03.2016
Erfüllungsort: Lausanne - CH
Link:
Lose:
Name Los Nr 1 Switzerland__Lausanne__Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Gewinner None
Datum
Wert None
Anzahl Angebote None

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