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Module de métrologie intégrée pour équipement de marque Applied Materials MIRRA-DESICA.

Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI souhaite acquérir un système de mesure intégré pour son équipement Applied Materials MIRRA-DESICA. Cet équipement doit être entièrement intégré et connecté à l'équipement de CMP. Il doit manipuler et mesurer des plaques de silicium de 200 mm de diamètre, avec différents matériaux déposés, tels que l'oxyde de silicium, le nitrure de silicium, le poly-silicium sur oxyde de silicium et mesurer des plaques avec ou sans motifs.
CPV-Code: 31712100
Abgabefrist: 24.11.2024
Typ: ContractNotice
Status: None
Aufgabe: None
Vergabestelle:
name: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
address: 17 rue des Martyrs Isère
postal_code: 38054
city: Grenoble - FR
country: FR
email: thomas.zemerli@cea.fr
phone: 0675022569
contact_point: Thomas ZEMERLI 0675022569 thomas.zemerli@cea.fr
idate: 24. Oktober 2024 07:30
udate: 24. Oktober 2024 07:30
doc:
authority_types:
activities:
Quelle: https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/00646737-2024
Unterlagen: https://www.marches-publics.gouv.fr
Zuschlagskriterium: price
Vertrag: None
Prozedur: None
Nuts: None
Veröffentlichung: 23.10.2024
Erfüllungsort: Grenoble - FR
Link:
Lose:
Name Los Nr 1 None
Gewinner None
Datum
Wert None
Anzahl Angebote None

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