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Elektronenstrahl-Lithografieanlage

Die Universität Duisburg-Essen erforscht im Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik in Duisburg Materialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration für Anwendungen in der Höchstfrequenzelektronik und in der Optoelektronik. Im ZHO wird zur Durchführung der Forschungsarbeiten eine durchgängige Prozesslinie in einem Reinraum bis Klasse 5 (ISO 14644-1) betrieben. Zur Untersuchung nanoskaliger Bauelemente wird eine höchstauflösende Elektronenstrahl-Lithografieanlage benötigt. Es soll eine Anlage beschafft werden, die den aktuellen Stand der Technik in Hinsicht auf maximale Auflösung und Positioniergenauigkeit darstellt. Die Anlage soll eine hohe Entwicklungsreife besitzen, die z.B. durch den Einsatz in Industrie und/oder Forschungsinstituten belegt werden kann. Ein hoher Automatisierungsgrad ist gefordert, um einen Mehrbenutzerbetrieb effektiv zu ermöglichen. Weitere Informationen entnehmen Sie bitte den Vergabeunterlagen.
CPV-Code: 38341100
Abgabefrist: 06.05.2022
Typ: Contract notice
Status: Submission for all lots
Aufgabe: Education
Vergabestelle:
name: Universität Duisburg-Essen
address: Forsthausweg 2, Gebäude LG
postal_code: 47057
city: Duisburg - DE
country: DE
email: None
phone: None
contact_point: Sachgebiet Einkauf
idate: 8. April 2022 10:37
udate: 8. April 2022 10:37
doc: 183577_2022.xml
authority_types:
activities:
Quelle: https://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:183577-2022:TEXT:DE:HTML
Unterlagen: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNY5MD9VZ/documents
Zuschlagskriterium: The most economic tender
Vertrag: Supplies
Prozedur: Open procedure
Nuts: None
Veröffentlichung: 08.04.2022
Erfüllungsort: Duisburg -
Link:
Lose:
Name Los Nr 1 Germany__Duisburg__Elektronenstrahlaufzeichnungsgeräte
Gewinner None
Datum
Wert None
Anzahl Angebote None

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