Der Auftrag umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines RTP Ofens, eines Ofens der sehr steile Aufheiz- und Abkühlrampen durchführen kann, im Reinraum der NaMLab gGmbH im ersten Stock eines Büro- und Laborgebäude in 01187 Dresden, Nöthnitzer Str. 64 a. Die Anlage wird in einem Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) aufgestellt. Sie muss kompatibel zu CMOS-Standards sein. Der RTP Ofen soll für die thermische Bearbeitung von dünnen Schichten und mikro- und nanoelektronischen Bauteilen eingesetzt werden. Dazu muss er in der Lage sein, Wafer bis 200 mm in einer atmosphärischen und Vakuumumgebung zu bearbeiten.
| CPV-Code: |
42942200
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| Abgabefrist: |
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| Typ: |
Contract award notice |
| Status: |
Not applicable |
| Aufgabe: |
Other |
| Vergabestelle: |
| name: |
NaMLab gGmbH |
| address: |
Nöthnitzer Straße 64 a |
| postal_code: |
01187 |
| city: |
Dresden - DE |
| country: |
DE |
| email: |
None |
| phone: |
None |
| contact_point: |
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| idate: |
25. Juni 2020 05:53 |
| udate: |
25. Juni 2020 05:53 |
| doc: |
201189_2020.xml |
| authority_types: |
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| activities: |
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| Quelle: |
http://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:201189-2020:TEXT:DE:HTML |
| Unterlagen: |
None |
| Zuschlagskriterium: |
The most economic tender |
| Vertrag: |
Supplies |
| Prozedur: |
Open procedure |
| Nuts: |
None |
| Veröffentlichung: |
30.04.2020 |
| Erfüllungsort: |
Dresden - DE |
| Link: |
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| Lose: |
| Name |
Los Nr 1 None |
| Gewinner |
Annealsys SAS |
| Datum |
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| Wert |
280 000,00 € |
| Anzahl Angebote |
2 |
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