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Öfen für chemische Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)

L’EPFL a l’intention d’acquérir un set de fours à dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD) pour son Centre de micronanotechnologies (CMI). L’équipement en question sera dédié à la pointe de la recherche dans le domaine des micro-résonateurs intégrés en nitrure de silicium pour peignes de fréquences optiques de solitons: — déposition par procédé LPCVD de couches minces d’oxyde de silicium (SiO2) et de nitrure de silicium (Si3N4) de haute densité, haute qualité, et faibles concentrations d’impuretés et d’hydrogène, pour la fabrication de guides d’ondes intégrés en Si3N4 à fort confinement et offrant de très faibles atténuations ; — déposition du Si3N4 avec une composition hautement stœchiométrique, ainsi qu’avec une composition riche en Si pour des films à contraintes plus faibles; — recuit thermique à haute température sous atmosphère d’argon (Ar) et d’azote (N2) sans contaminants; — oxydation sèche/humide du silicium.
CPV-Code: 38000000
Abgabefrist: 08.06.2020
Typ: Contract notice
Status: Submission for all lots
Aufgabe: Other
Vergabestelle:
name: École polytechnique fédérale de Lausanne — vice-présidence pour la recherche VPR DAR ECO
address: BI A2 448 (bâtiment BI) — station 7
postal_code: 1015
city: Lausanne - CH
country: CH
email: None
phone: None
contact_point: Jérôme Butty
idate: 25. Juni 2020 05:50
udate: 25. Juni 2020 05:50
doc: 203374_2020.xml
authority_types:
activities:
Quelle: http://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:203374-2020:TEXT:FR:HTML
Unterlagen: None
Zuschlagskriterium: The most economic tender
Vertrag: Supplies
Prozedur: Open procedure
Nuts: None
Veröffentlichung: 30.04.2020
Erfüllungsort: Lausanne - CH
Link:
Lose:
Name Los Nr 1 Switzerland__Lausanne__Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Gewinner None
Datum
Wert None
Anzahl Angebote None

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