L’EPFL a l’intention d’acquérir un équipement de gravure IBE (Ion Beam Etcher) pour son Centre de Micro et Nano Technologie (CMI). Cet équipement sera dédié à la recherche de pointe dans les domaines de la micro et nano-fabrication. Le CMI est une installation salle blanche centrale pour l’ensemble des facultés de l’EPFL ainsi que pour les industriels locaux qui est réservée pour les utilisateurs travaillant dans la micro et nano-fabrication. Nous avons plus de 160 nouveaux utilisateurs par année et approximativement 300 utilisateurs actifs. La gravure IBE représente une complémentarité à la gravure plasma. L’IBE permet la gravure de nombreux matériaux exotiques sans perte de côte. Une grande importance sera accordée non seulement à la qualité des gravures mais également à la flexibilité de l’équipement, à sa facilité d’utilisation, à sa simplicité/rapidité d’apprentissage pour les nouveaux utilisateurs et sa fiabilité. Au vu des besoins de la faculté des sciences et techniques de l’ingénieur (STI) et des buts du laboratoire CMi, une attention particulière sera placée sur les points suivants: — Gravures des matériaux exotiques tells que Au, Cu, Cr, PZT ou Pt, — Utilisation de wafers 100 mm en silicium ou en verre avec des masques en résine photosensible, — Profils des gravures, qualité des flancs et sélectivité par rapport aux masques, — Vitesse de gravure, uniformité et reproductibilité, — Refroidissement du wafer en procédé, — Transferts des wafers et clampage, — Facilité d’utilisation et fiabilité Les fournisseurs peuvent obtenir des informations générales sur les laboratoires concernés à l’adresse l'internet http://cmi.epfl.ch/.
| CPV-Code: |
38000000
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| Abgabefrist: |
16.08.2012 |
| Typ: |
Contract notice |
| Status: |
Submission for all lots |
| Aufgabe: |
Not specified |
| Vergabestelle: |
| name: |
Ecole polytechnique fédérale de Lausanne vice-présidence pour les affaires académiques |
| address: |
PPH 339, station 5 |
| postal_code: |
1015 |
| city: |
Lausanne - CH |
| country: |
CH |
| email: |
None |
| phone: |
None |
| contact_point: |
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| idate: |
15. Juni 2020 10:46 |
| udate: |
15. Juni 2020 10:46 |
| doc: |
216676_2012.xml |
| authority_types: |
BODY_PUBLIC |
| activities: |
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| Quelle: |
http://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:216676-2012:TEXT:FR:HTML |
| Unterlagen: |
None |
| Zuschlagskriterium: |
The most economic tender |
| Vertrag: |
Supply contract |
| Prozedur: |
Open procedure |
| Nuts: |
None |
| Veröffentlichung: |
10.07.2012 |
| Erfüllungsort: |
Lausanne - CH |
| Link: |
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| Lose: |
| Name |
Los Nr 1 CH__Lausanne__Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) |
| Gewinner |
None |
| Datum |
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| Wert |
None |
| Anzahl Angebote |
None |
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