Ion Beam Etcher (IBE).

L’EPFL a l’intention d’acquérir un équipement de gravure IBE (Ion Beam Etcher) pour son Centre de Micro et Nano Technologie (CMI). Cet équipement sera dédié à la recherche de pointe dans les domaines de la micro et nano-fabrication. Le CMI est une installation salle blanche centrale pour l’ensemble des facultés de l’EPFL ainsi que pour les industriels locaux qui est réservée pour les utilisateurs travaillant dans la micro et nano-fabrication. Nous avons plus de 160 nouveaux utilisateurs par année et approximativement 300 utilisateurs actifs. La gravure IBE représente une complémentarité à la gravure plasma. L’IBE permet la gravure de nombreux matériaux exotiques sans perte de côte. Une grande importance sera accordée non seulement à la qualité des gravures mais également à la flexibilité de l’équipement, à sa facilité d’utilisation, à sa simplicité/rapidité d’apprentissage pour les nouveaux utilisateurs et sa fiabilité. Au vu des besoins de la faculté des sciences et techniques de l’ingénieur (STI) et des buts du laboratoire CMi, une attention particulière sera placée sur les points suivants: — Gravures des matériaux exotiques tells que Au, Cu, Cr, PZT ou Pt, — Utilisation de wafers 100 mm en silicium ou en verre avec des masques en résine photosensible, — Profils des gravures, qualité des flancs et sélectivité par rapport aux masques, — Vitesse de gravure, uniformité et reproductibilité, — Refroidissement du wafer en procédé, — Transferts des wafers et clampage, — Facilité d’utilisation et fiabilité Les fournisseurs peuvent obtenir des informations générales sur les laboratoires concernés à l’adresse l'internet http://cmi.epfl.ch/.
CPV-Code: 38000000
Abgabefrist: 16.08.2012
Typ: Contract notice
Status: Submission for all lots
Aufgabe: Not specified
Vergabestelle:
name: Ecole polytechnique fédérale de Lausanne vice-présidence pour les affaires académiques
address: PPH 339, station 5
postal_code: 1015
city: Lausanne - CH
country: CH
email: None
phone: None
contact_point:
idate: 15. Juni 2020 10:46
udate: 15. Juni 2020 10:46
doc: 216676_2012.xml
authority_types: BODY_PUBLIC
activities:
Quelle: http://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:216676-2012:TEXT:FR:HTML
Unterlagen: None
Zuschlagskriterium: The most economic tender
Vertrag: Supply contract
Prozedur: Open procedure
Nuts: None
Veröffentlichung: 10.07.2012
Erfüllungsort: Lausanne - CH
Link:
Lose:
Name Los Nr 1 CH__Lausanne__Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Gewinner None
Datum
Wert None
Anzahl Angebote None