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Fourniture d'un équipement de polissage mécano-chimique.

Le CEA LETI recherche un équipement de polissage mécano-chimique pour la mise au point de technologies nanoélectroniques sur des plaques de 300mm de diamètre. L'équipement devra comporter au moins 4 plateaux de polissage indépendants équipés des dernières générations de système de détection de fin de polissage, ainsi que 2 lignes de nettoyage. L'équipement devra également pouvoir intégrer des systèmes de mesures d'épaisseurs de type NOVA. Cet équipement sera entièrement automatique, cassette-cassette, et compatible aux normes 300mm du CEA LETI. Il sera installé dans les salles blanches du CEA LETI à Grenoble pour une utilisation 24/24h.

CPV-Code:

31720000

Abgabefrist:

30.08.2016

Typ:

Contract notice

Status:

Submission for all lots

Aufgabe:

Other

Vergabestelle:

name:	CEA Grenoble
address:	17 avenue des Martyrs
postal_code:	38054
city:	Grenoble Cedex 9 - FR
country:	FR
email:	None
phone:	+33 438784429
contact_point:	Grégory Carboni
idate:	20. Juni 2020 08:52
udate:	20. Juni 2020 08:52
doc:	244347_2016.xml
authority_types:
activities:

Quelle:

http://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:244347-2016:TEXT:FR:HTML

Unterlagen:

None

Zuschlagskriterium:

The most economic tender

Vertrag:

Supplies

Prozedur:

Open procedure

Nuts:

FR714

Veröffentlichung:

16.07.2016

Erfüllungsort:

Grenoble - FR

Link:

Lose:

Name	Los Nr 1 France__Grenoble__
Gewinner	None
Datum
Wert	None
Anzahl Angebote	None

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