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Batch tool(s) for LPVCD-BTBAS (Nitride-, Oxide- and Oxynitride-) processes

Batch tool(s) for LPVCD-BTBAS (Nitride-, Oxide- and Oxynitride-) processes
CPV-Code: 42942000 42940000
Abgabefrist: 16.01.2026
Typ: Forschung und Entwicklung
Status: Offenes Verfahren
Aufgabe: None
Vergabestelle:
name: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
address: None
postal_code: 15236
city: Frankfurt (Oder) - DE
country: DE
email: None
phone: None
contact_point: None
idate: 3. Dezember 2025 12:05
udate: 3. Dezember 2025 12:05
doc:
authority_types:
activities:
Quelle: https://www.service.bund.de/IMPORTE/Ausschreibungen/vmp-bb/2025/12/244906.html
Unterlagen: IMPORTE/Ausschreibungen/vmp-bb/2025/12/244906.html;jsessionid=B58C86698D8691E30EC9445436424420.inte…
Zuschlagskriterium: None
Vertrag: None
Prozedur: Vergabeverordnung (VgV)
Nuts: None
Veröffentlichung: 02.12.2025
Erfüllungsort: Frankfurt (Oder) - DE
Link: IMPORTE/Ausschreibungen/vmp-bb/2025/12/244906.html;jsessionid=B58C86698D8691E30EC9445436424420.internet642?nn=4641474#location-map
Lose:
Name Los Nr 1 Batch tool(s) for LPVCD-BTBAS (Nitride-, Oxide- and Oxynitride-) processes
Gewinner None
Datum
Wert None
Anzahl Angebote None

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