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Eine manuelle Bank für das Solvent-Lift-Off

Die EPFL beabsichtigt, für ihr Center of MicroNanoTechnology (CMi) eine manuelle Bank für das Solvent-Lift-Off anzuschaffen. Die Bewertung basiert auf Prozessleistung, Robustheit des Werkzeugs, Benutzerfreundlichkeit/Wartung und schnellen Schulungszeiten. Die Leistung wird hinsichtlich erreichbarer Einheitlichkeit, Reproduzierbarkeit und Zeit beurteilt. Allgemeine Anforderungen sind: •Durchführung des Solvent-Lift-Off-Prozesses auf einer 25-Wafer-Kassette (<=150 mm) mit den bekanntesten Methoden unter Verwendung von 4 Bäder (siehe Dokument). •Einfache Bedienung, Verwaltung (Rezeptverwaltung) und Wartung. Geringer Bedarf an Abgas- und Stromleistung sowie Chemikalien pro Durchlauf. •Hochwertiger Support und langfristige Verfügbarkeit von Ersatzteilen.

CPV-Code:

38000000

Abgabefrist:

05.08.2024

Typ:

ContractNotice

Status:

None

Aufgabe:

None

Vergabestelle:

name:	Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL) Center of MicroNanoTechnology (CMi)
address:	Bâtiment BM - Station 17 Lausanne
postal_code:	1015
city:	Lausanne - CH
country:	CH
email:	philippe.fluckiger@epfl.ch
phone:	0216931111
contact_point:	Dr. Philippe Flückiger 0216931111 philippe.fluckiger@epfl.ch
idate:	3. Juli 2024 07:59
udate:	3. Juli 2024 07:59
doc:
authority_types:
activities:

Quelle:

https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/00387021-2024

Unterlagen:

http://www.simap.ch/shabforms/servlet/Search?NOTICE_NR=1430391

Zuschlagskriterium:

quality

Vertrag:

None

Prozedur:

None

Nuts:

None

Veröffentlichung:

01.07.2024

Erfüllungsort:

Lausanne - CH

Link:

Lose:

Name	Los Nr 1 None
Gewinner	None
Datum
Wert	None
Anzahl Angebote	None

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