Ausschreibungen

Доставка и въвеждане в експлоатация на: „Високотехнологично оборудване за екологични многослойни наноструктурирани покрития с многофункционални приложения, получени чрез разбалансирано магнетронно разпрашване“. Под „оборудване“ се разбира машина, състояща се от модули и системи, обединени в едно цяло за осъществяване на една обща функция, а именно, нанасяне на тънки слоеве и покрития по метода на разбалансирано магнетронно разпрашване. I. Общи изисквания към оборудването. Оборудването трябва да е ново и неупотребявано и следва да се придружава от изисканите от Възложителя сертификати и други документи, посочени в документацията за участие. Оборудването трябва да позволява: — Реализацията на монослоеве, мултислоеве, нанослоеве, наноструктурирани и наноградиентни слоеве и комбинации от тях, използвайки следните материали и техните сплави: титан, хром, алуминий, силиций, въглерод, и газовете — азот, аргон, метан или ацетилен; — Бързо и лесно закрепване на образците във вакуумната камера; — Автоматично стартиране, провеждане и спиране на технологичния процес по всяко време; — Пълен контрол на зададените параметри и запис на цялата информация по време на технологичния процес; — Създаване на собствени рецепти със собствен софтуер, които да се свързват със хардуера на оборудването. II. Обща конфигурация на оборудването. Оборудването трябва да е компактно, позволяващо ръчно и автоматично управление, дистанционна диагностика и пълен мониторинг на процесите. Конфигурацията трябва да включва: 1. Вакуумна камера — двустенна, водоохлаждаема работна камера от неръждаема стомана с: — Безмаслена изпомпваща система, задължително използваща турбомолекулярна помпа за достигане на необходим базов вакуум; — Система за измерване на вакуум , използваща Пирани, Пенинг и Баратрон вакуумметри. 2. Държател на образци — система с планетарен механизъм за закрепване на образци (подложки); 3. Източници на разпрашване — странично разположени плоски, правоъгълни разбалансирани магнетрони, с таргети от чисти метали или сплави; 4. Захранване на магнетроните — DC и пулсиращо DC захранване; 5. Захранване, осигуряващо базово напрежение (BIAS) на образците; 6. Система за йонно-плазмено чистене на образците в камерата с използване на аргонови йони; 7. Четири входа за газове със система за контрол; 8. Управление и контрол на процесите — позволяващо пълна автоматизация на оборудването и процеса (заедно със софтуера); 9. Захранване на оборудването — от мрежата 3 х 400 V, 50 Hz. 10. Нагревател на държателя на образците. III. Оборудването трябва да отговаря на следните технически и функционални характеристики: 1. Минимални технически и функционални характеристики: — Вакуумна камера — с ефективни размери: диаметър 500700 mm; височина 500700 mm; — Базов вакуум — не по-нисък от 1x10Е-6 mbar; —Държател на образците — планетарен механизъм с минимум двуосно въртене; —Източници на разпрашване — плоски разбалансирани магнетрони не по-малко от два броя; — Захранване на магнетроните — DC и пулсиращо DC не по-малко от 6 kW на всеки магнетрон; — Захранване на базовото напрежение на образците — не по-малко от 5 kW; — Управление — пълно автоматизирано и компютъризирано управление на оборудването и процесите. 2. Допълнителни технически и функционални характеристики: — Нагревателят на държателя на образците трябва да осигурява температура не по-ниска от 200оС без включени източници на разпрашване. IV. Условия на доставка. 1. Доставчикът извършва монтаж, инсталация и настройка на доставеното оборудване на адреса на Възложителя. 2. Доставчикът обучава персонал на Възложителя, необходим за безопасна манипулация и експлоатация на оборудването. 3. Доставчикът осигурява поддръжка чрез гаранционен и извънгаранционен сервиз.

„Доставка и въвеждане в експлоатация на високотехнологично оборудване за екологични многослойни наноструктурирани покрития с многофункционални прилож…

Informiere dich täglich über neue Ausschreibungen zum Thema Microelectronic machinery and apparatus

Informiere dich täglich über neue
Ausschreibungen zum Thema Microelectronic machinery and apparatus