Für die Erweiterung der Technologie wird im MPG Halbleiterlabor eine Plasmaätzanlage benötigt. Ziel ist es, die bisher verwendeten nasschemischen Prozesse durch Plasmaätzprozesse zu ersetzen und dabei die Strukturhaltigkeit (Kantenformen, Unterätzung) wesentlich zu verbessern. Dabei dürfen keine irreversiblen
Strahlenschäden an den Bauteilen auftreten.
| CPV-Code: |
42990000
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| Abgabefrist: |
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| Typ: |
Contract award notice |
| Status: |
Not applicable |
| Aufgabe: |
Other |
| Vergabestelle: |
| name: |
Halbleiterlabor der Max-Planck-Gesellschaft |
| address: |
Otto-Hahn-Ring 6 |
| postal_code: |
81739 |
| city: |
München - DE |
| country: |
DE |
| email: |
None |
| phone: |
+49 8932354217 |
| contact_point: |
Einkauf |
| idate: |
27. Juni 2020 19:36 |
| udate: |
27. Juni 2020 19:36 |
| doc: |
270532_2018.xml |
| authority_types: |
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| activities: |
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| Quelle: |
http://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:270532-2018:TEXT:DE:HTML |
| Unterlagen: |
None |
| Zuschlagskriterium: |
The most economic tender |
| Vertrag: |
Supplies |
| Prozedur: |
Open procedure |
| Nuts: |
None |
| Veröffentlichung: |
23.06.2018 |
| Erfüllungsort: |
München - DE |
| Link: |
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| Lose: |
| Name |
Los Nr 1 None |
| Gewinner |
SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH |
| Datum |
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| Wert |
None |
| Anzahl Angebote |
2 |
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