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Fourniture d'un équipement d'alignement de masques 200 mm.

Le CEA/LETI souhaite acquérir un équipement d'alignement de masques 200 mm. L'équipement devra permettre un alignement face avant («TSA») ou face avant/face arrière («BSA»), directement ou à travers le substrat en utilisant une source et un détecteur dans l'infrarouge dans les 2 configurations (source en haut et détecteur en bas, ou l'inverse). L'alignement sera manuel avec assistance vidéo. La compensation du non-parallélisme sera automatique, avec ou sans contact («spacers»). L'exposition sera possible en contact (modes «soft-, hard- ou vacuum-») ou en proximité (programmable). Le chargement des plaques sera manuel. L'équipement sera installé dans les salles blanches du CEA/LETI à Grenoble pour une utilisation 24/24h.

CPV-Code:

31720000

Abgabefrist:

20.09.2016

Typ:

Contract notice

Status:

Submission for all lots

Aufgabe:

Other

Vergabestelle:

name:	CEA Grenoble
address:	17 avenue des Martyrs
postal_code:	38054
city:	Grenoble Cedex 9 - FR
country:	FR
email:	None
phone:	+33 438789943
contact_point:	Claire Moreau Flachat
idate:	30. Juni 2020 17:41
udate:	30. Juni 2020 17:41
doc:	276728_2016.xml
authority_types:
activities:

Quelle:

http://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:276728-2016:TEXT:FR:HTML

Unterlagen:

None

Zuschlagskriterium:

The most economic tender

Vertrag:

Supplies

Prozedur:

Open procedure

Nuts:

FR714

Veröffentlichung:

10.08.2016

Erfüllungsort:

Grenoble - FR

Link:

Lose:

Name	Los Nr 1 France__Grenoble__
Gewinner	None
Datum
Wert	None
Anzahl Angebote	None

Fourniture d'un équipement d'alignement de masques 200 mm.

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