Der Auftrag umfasst die Lieferung und Installation eines Niederdruck-Hochtemperatur-Ofens zur chemischen Gasphasenabscheidung (LPCVD-Ofen). Der LPCVD-Ofen soll Abscheidung- und Temperprozesse unter verschiedenen Atmosphären durchführen können. Der Ofen wird für die thermische Abscheidung und das Tempern/die thermische Behandlung von dünnen Schichten mikro-/nanoelektronischer Bauelemente verwendet. Er muss mit den CMOS-Normen kompatibel und in der Lage sein, Wafer mit einem Mindestdurchmesser von 150 mm unter Atmosphären- und Vakuumbedingungen zu prozessieren. Die Anlage wird sich in einem Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) befinden.
| CPV-Code: |
42942200
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| Abgabefrist: |
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| Typ: |
Contract award notice |
| Status: |
Not applicable |
| Aufgabe: |
Other |
| Vergabestelle: |
| name: |
NaMLab gGmbH |
| address: |
Nöthnitzer Straße 64 a |
| postal_code: |
01187 |
| city: |
Dresden - DE |
| country: |
DE |
| email: |
None |
| phone: |
+49 351212499010 |
| contact_point: |
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| idate: |
1. Juli 2020 02:56 |
| udate: |
1. Juli 2020 02:56 |
| doc: |
278963_2020.xml |
| authority_types: |
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| activities: |
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| Quelle: |
http://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:278963-2020:TEXT:DE:HTML |
| Unterlagen: |
None |
| Zuschlagskriterium: |
The most economic tender |
| Vertrag: |
Supplies |
| Prozedur: |
Open procedure |
| Nuts: |
None |
| Veröffentlichung: |
16.06.2020 |
| Erfüllungsort: |
Dresden - DE |
| Link: |
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| Lose: |
| Name |
Los Nr 1 None |
| Gewinner |
ATV Technologies GmbH |
| Datum |
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| Wert |
303 300,00 € |
| Anzahl Angebote |
1 |
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