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Lieferung, Installation, Inbetrieb- und Endabnahme einer Sputteranlage für das Halbleiterlabor der Max-Planck-Gesellschaft. …

Für die Erweiterung der Technologie wird im back-end-of-line Bereich des Halbleiterlabors der Max-Planck-Gesellschaft ein Sputter benötigt. Ziel ist es eine komplette Kupfertechnologie im Prozessbereich zu installieren. Dafür ist das Sputtern des „seed layers“ und der Barrierelage notwendig.
CPV-Code: 42990000
Abgabefrist: 30.08.2017
Typ: Contract notice
Status: Submission for all lots
Aufgabe: Other
Vergabestelle:
name: Halbleiterlabor der Max-Planck-Gesellschaft
address: Otto-Hahn-Ring 6
postal_code: 81739
city: München - DE
country: DE
email: None
phone: +49 8932354217
contact_point: Einkauf
idate: 12. Juni 2020 17:49
udate: 12. Juni 2020 17:49
doc: 282639_2017.xml
authority_types:
activities:
Quelle: http://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:282639-2017:TEXT:DE:HTML
Unterlagen: None
Zuschlagskriterium: The most economic tender
Vertrag: Supplies
Prozedur: Open procedure
Nuts: None
Veröffentlichung: 21.07.2017
Erfüllungsort: München - DE
Link:
Lose:
Name Los Nr 1 Germany__München__
Gewinner None
Datum
Wert None
Anzahl Angebote None

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