Apparat zum Silizium-Tiefenätzen (Deep-Silicon Etching)

L’EPFL a l’intention d’acquérir un équipement de gravure profonde du silicium pour son centre CMi. Une grande importance sera accordée non seulement à la qualité des gravures, mais également à la facilité d’utilisation de l’équipement, à sa simplicité/rapidité d’apprentissage pour les nouveaux utilisateurs et à sa flexible mais néanmoins robuste capacité de contrôle de procédés de gravure dans un environnement type R&D. La proximité, la réactivité du fournisseur et le support disponible (technique, procédés) seront également de grande importance, ainsi que: — Wafers quatre pouces: système avec chargeur cassette intégré, transfert robotisé automatique vers une chambre de gravure profonde du silicium; — l’architecture du système permet l’ajout futur éventuel d’autres chambres; — le contrôle et la qualité de gravure du silicium: vitesses et profils, sélectivités par rapport aux matériaux de masquage, uniformité et reproductibilité.
CPV-Code: 38000000
Abgabefrist: 03.08.2020
Typ: Contract notice
Status: Submission for all lots
Aufgabe: Other
Vergabestelle:
name: École polytechnique fédérale de Lausanne — vice-présidence pour la recherche VPR DAR ECO
address: BI A2 448 (bâtiment BI), station 7
postal_code: 1015
city: Lausanne - CH
country: CH
email: None
phone: None
contact_point: Jérôme Butty
idate: 1. Juli 2020 04:58
udate: 1. Juli 2020 04:58
doc: 297996_2020.xml
authority_types:
activities:
Quelle: http://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:297996-2020:TEXT:FR:HTML
Unterlagen: http://www.simap.ch/shabforms/servlet/Search?NOTICE_NR=1141895
Zuschlagskriterium: The most economic tender
Vertrag: Supplies
Prozedur: Open procedure
Nuts: None
Veröffentlichung: 25.06.2020
Erfüllungsort: Lausanne - CH
Link:
Lose:
Name Los Nr 0
Gewinner None
Datum
Wert None
Anzahl Angebote None
Name Los Nr 1 Switzerland__Lausanne__Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Gewinner None
Datum
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