L’EPFL a l’intention d’acquérir un équipement de gravure profonde du silicium pour son centre CMi. Une grande importance sera accordée non seulement à la qualité des gravures, mais également à la facilité d’utilisation de l’équipement, à sa simplicité/rapidité d’apprentissage pour les nouveaux utilisateurs et à sa flexible mais néanmoins robuste capacité de contrôle de procédés de gravure dans un environnement type R&D. La proximité, la réactivité du fournisseur et le support disponible (technique, procédés) seront également de grande importance, ainsi que: — Wafers quatre pouces: système avec chargeur cassette intégré, transfert robotisé automatique vers une chambre de gravure profonde du silicium; — l’architecture du système permet l’ajout futur éventuel d’autres chambres; — le contrôle et la qualité de gravure du silicium: vitesses et profils, sélectivités par rapport aux matériaux de masquage, uniformité et reproductibilité.
| CPV-Code: |
38000000
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| Abgabefrist: |
03.08.2020 |
| Typ: |
Contract notice |
| Status: |
Submission for all lots |
| Aufgabe: |
Other |
| Vergabestelle: |
| name: |
École polytechnique fédérale de Lausanne — vice-présidence pour la recherche VPR DAR ECO |
| address: |
BI A2 448 (bâtiment BI), station 7 |
| postal_code: |
1015 |
| city: |
Lausanne - CH |
| country: |
CH |
| email: |
None |
| phone: |
None |
| contact_point: |
Jérôme Butty |
| idate: |
1. Juli 2020 04:58 |
| udate: |
1. Juli 2020 04:58 |
| doc: |
297996_2020.xml |
| authority_types: |
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| activities: |
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| Quelle: |
http://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:297996-2020:TEXT:FR:HTML |
| Unterlagen: |
http://www.simap.ch/shabforms/servlet/Search?NOTICE_NR=1141895 |
| Zuschlagskriterium: |
The most economic tender |
| Vertrag: |
Supplies |
| Prozedur: |
Open procedure |
| Nuts: |
None |
| Veröffentlichung: |
25.06.2020 |
| Erfüllungsort: |
Lausanne - CH |
| Link: |
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| Lose: |
| Name |
Los Nr 0 |
| Gewinner |
None |
| Datum |
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| Wert |
None |
| Anzahl Angebote |
None |
| Name |
Los Nr 1 Switzerland__Lausanne__Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) |
| Gewinner |
None |
| Datum |
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| Wert |
None |
| Anzahl Angebote |
None |
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