Die Ausschreibung zielt auf die Beschaffung eines reaktiven Ionen Ätzers mit induktiv eingekoppeltem Plasma (ICP-RIE), zur anisotropen Ätzung von Halblautersubstraten, insbesondere Silizium. Zum Leistungsumfang gehören Lieferung, Installation, Inbetriebnahme, Einweisung, 24 Monate Gewährleistung sowie kostenlose Software-Updates innerhalb der ersten 24 Monate nach Inbetriebnahme. Die Ätzanlage muss folgende Mindestanforderungen erfüllen: — CE Zertifizierung, — Strukturierung von SI Nanostrukturen, — Ätzresultate demonstriert an Testproben, — RIE mit Schleuse und Option für bis zu 8 Prozessgase, — Waferhalter für 4" Wafer und Halter für 1 x 1 cm² Probenstücke, maximale Wafergröße 8", — Heliumrückseitenkühlung für beide Probenarten, — Pumpzeiten bei Einschleusen der Proben < 10 min, — Außenmaße nicht größer als 4 000 x 1 500 x 2 000 mm³ (l x b x h), — Abgasreinigungssystem, — Computersteuerung der Prozesse, — Rezepte für die oben genannten Prozesse, — Servicetechniker muss bei Störungen innerhalb von 48 h vor Ort sein, — Software Update, — Schulung des Laborpersonals bei Inbetriebnahme des Gerätes,
| CPV-Code: |
42000000
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| Abgabefrist: |
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| Typ: |
Contract award |
| Status: |
Not applicable |
| Aufgabe: |
Other |
| Vergabestelle: |
| name: |
Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V. |
| address: |
Bautzner Landstraße 400 |
| postal_code: |
01328 |
| city: |
Dresden - DE |
| country: |
DE |
| email: |
None |
| phone: |
None |
| contact_point: |
Abteilung Einkauf |
| idate: |
27. Juni 2020 13:51 |
| udate: |
27. Juni 2020 13:51 |
| doc: |
310574_2014.xml |
| authority_types: |
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| activities: |
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| Quelle: |
http://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:310574-2014:TEXT:DE:HTML |
| Unterlagen: |
None |
| Zuschlagskriterium: |
The most economic tender |
| Vertrag: |
Supply contract |
| Prozedur: |
Open procedure |
| Nuts: |
DED21 |
| Veröffentlichung: |
13.09.2014 |
| Erfüllungsort: |
Dresden - DE |
| Link: |
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| Lose: |
| Name |
Los Nr 1 None |
| Gewinner |
Sentech GmbH |
| Datum |
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| Wert |
None |
| Anzahl Angebote |
2 |
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