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Lot n° 1 : Fourniture d’un four de dégazage à géométrie horizontale avec écran thermique et résistance de chauffe en graphite purifié

Le CEA LETI souhaite faire l’acquisition d’un four de dégazage à géométrie horizontale pour le nettoyage de pièces en SIC recouvertes de graphite dits « suscepteurs ». Ces suscepteurs sont utilisés par le CEA pour le support de substrats qui subissent des procédés de croissance de GAN dans un bâti de MOCVD. Cet équipement doit présenter les caractéristiques suivantes : — température de travail de 1350 °C, sous vide primaire 1mTorr sous flux de gaz (forming gaz ou autre), — possibilité de recuit simultané de quinze (15) suscepteurs par jour dont les dimensions sont diamètre : 465 millimètres, épaisseur 30 millimètres, masse environ : 12 kilogrammes, — durée de la descente en température inférieure à huit (8) heures. Il devra être compatible en termes de contamination particulaire avec les normes en vigueur dans l’industrie du semi-conducteur.
CPV-Code: 42341000
Abgabefrist:
Typ: Contract award
Status: Not applicable
Aufgabe: Other
Vergabestelle:
name: CEA/Grenoble
address: 17 rue des Martyrs
postal_code: 38054
city: Grenoble Cedex 9 - FR
country: FR
email: None
phone: +33 438789943
contact_point:
idate: 13. Juni 2020 16:32
udate: 13. Juni 2020 16:32
doc: 317642_2013.xml
authority_types: BODY_PUBLIC
activities: DEFENCE
Quelle: http://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:317642-2013:TEXT:FR:HTML
Unterlagen: None
Zuschlagskriterium: The most economic tender
Vertrag: Supply contract
Prozedur: Open procedure
Nuts: FR714
Veröffentlichung: 21.09.2013
Erfüllungsort: Grenoble - FR
Link:
Lose:
Name Los Nr 1 Lot n° 1 : Fourniture d’un four de dégazage à géométrie horizontale avec écran thermique et résistance de chauffe en graphite purifié
Gewinner Ebara Precision Machinery Europe GMBH
Datum
Wert None
Anzahl Angebote 4

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