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Fourniture d'un parc de 3 machines plasma, dépôt PECVD et gravure seche ICP/RIE pouvant accommoder des plaquettes de 200 mm.

Le marché porte sur l'acquisition pour l'Institut Lafayette d'un parc cohérent de deux outils neufs de gravure ionique réactive par technique plasma ICP (Inductively Coupled Plasma) et d'un outil neuf de dépôt chimique activé par plasma PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition) pour les couches d'oxydes et nitrures de silicium.
CPV-Code: 42990000
Abgabefrist:
Typ: Contract award
Status: Not applicable
Aufgabe: Other
Vergabestelle:
name: Association de Préfiguration Institut Lafayette
address: 2 rue Marconi
postal_code: 57070
city: Metz - FR
country: FR
email: None
phone: +1 4043855163
contact_point:
idate: 21. Juni 2020 09:27
udate: 21. Juni 2020 09:27
doc: 338758_2014.xml
authority_types:
activities:
Quelle: http://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:338758-2014:TEXT:FR:HTML
Unterlagen: None
Zuschlagskriterium: Not specified
Vertrag: Supply contract
Prozedur: Open procedure
Nuts: FR413
Veröffentlichung: 07.10.2014
Erfüllungsort: Metz - FR
Link:
Lose:
Name Los Nr 1 None
Gewinner SPTS technologies UK Ltd
Datum
Wert 1 475 876,00 €
Anzahl Angebote 1

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