Microscope électronique à balayage de revue de défauts.

Le CEA/LETI souhaite faire l'acquisition de 1 microscope électronique à balayage de revue de défauts. L'équipement devra être entièrement automatique et pouvoir traiter à la fois des plaques de 200 mm et 300 mm de diamètre. Il devra permettre la rotation des plaques à 360° et leur observation jusqu'à un angle de 45°. Il devra également comporter un système d'analyse par rayons X et une colonne «FIB» (Focus Ion Beam) pour réaliser des coupes localisées sur les plaques. Il devra être compatible avec une salle blanche de qualité micro-électronique. Il sera installé sur la plate-forme silicium du CEA-LETI où il sera utilisé sept 7 jours 7 et 24 heures sur 24.
CPV-Code: 38511100
Abgabefrist:
Typ: Contract award notice
Status: Not applicable
Aufgabe: Other
Vergabestelle:
name: CEA/Grenoble
address: 17 rue des Martyrs
postal_code: 38054
city: Grenoble Cedex 9 - FR
country: FR
email: None
phone: +33 438789943
contact_point: Mme Claire Moreau-Flachat
idate: 24. Juni 2020 05:28
udate: 24. Juni 2020 05:28
doc: 348870_2016.xml
authority_types:
activities:
Quelle: http://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:348870-2016:TEXT:FR:HTML
Unterlagen: None
Zuschlagskriterium: Lowest price
Vertrag: Supplies
Prozedur: Open procedure
Nuts: FR244
Veröffentlichung: 07.10.2016
Erfüllungsort: Grenoble - FR
Link:
Lose:
Name Los Nr 1 None
Gewinner None
Datum
Wert None
Anzahl Angebote None