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Fourniture d’un équipement de traitement chimique par batch.

Le CEA LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement de traitement chimique capable de traiter en même temps des « batch » de 50 plaques de silicium de 100, 150 ou 200mm de diamètre, avec la possibilité de basculer d’un diamètre de plaques à un autre très rapidement. L’équipement sera utilisé pour le nettoyage de matériaux de type III-V ; GaAs, InP, InGaAs, GaN, AlGaN, etc…il devra être capable de gérer à minima les 4 chimies suivantes au cours d’un procédé : Ozone, HF, NH4OH et HCl. L’équipement sera installé dans les salles blanche du CEA-LETI et sera utilisée 24h/24 - 7j/7.

CPV-Code:

42992000

Abgabefrist:

15.12.2014

Typ:

Contract notice

Status:

Submission for all lots

Aufgabe:

Other

Vergabestelle:

name:	CEA/Grenoble
address:	17 rue des Martyrs
postal_code:	38054
city:	Grenoble Cedex 9 - FR
country:	FR
email:	None
phone:	+33 438784081
contact_point:	DRT/LETI/DTSi/SPAT
idate:	12. Juni 2020 16:44
udate:	12. Juni 2020 16:44
doc:	386926_2014.xml
authority_types:	BODY_PUBLIC
activities:

Quelle:

http://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:386926-2014:TEXT:FR:HTML

Unterlagen:

None

Zuschlagskriterium:

The most economic tender

Vertrag:

Supply contract

Prozedur:

Open procedure

Nuts:

FR714

Veröffentlichung:

13.11.2014

Erfüllungsort:

Grenoble - FR

Link:

Lose:

Name	Los Nr 1 France__Grenoble__Elektrogeräte für besondere Zwecke
Gewinner	None
Datum
Wert	None
Anzahl Angebote	None

Fourniture d’un équipement de traitement chimique par batch.

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