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Lieferung, Installation, Inbetrieb- und Endabnahme einer Plasmaätzanlage für das Halbleiterlabor der Max-Planck-Gesellschaft. …

Für die Erweiterung der Technologie wird im MPG Halbleiterlabor eine Plasmaätzanlage benötigt. Ziel ist es, die bisher verwendeten nasschemischen Prozesse durch Plasmaätzprozesse zu ersetzen und dabei die Strukturhaltigkeit (Kantenformen, Unterätzung) wesentlich zu verbessern. Dabei dürfen keine irreversiblen Strahlenschäden an den Bauteilen auftreten.
CPV-Code: 42990000
Abgabefrist: 06.11.2017
Typ: Contract notice
Status: Submission for all lots
Aufgabe: Other
Vergabestelle:
name: Halbleiterlabor der Max-Planck-Gesellschaft
address: Otto-Hahn-Ring 6
postal_code: 81739
city: München - DE
country: DE
email: None
phone: +49 8932354217
contact_point: Einkauf
idate: 25. Juni 2020 13:16
udate: 25. Juni 2020 13:16
doc: 388582_2017.xml
authority_types:
activities:
Quelle: http://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:388582-2017:TEXT:DE:HTML
Unterlagen: None
Zuschlagskriterium: The most economic tender
Vertrag: Supplies
Prozedur: Open procedure
Nuts: None
Veröffentlichung: 04.10.2017
Erfüllungsort: München - DE
Link:
Lose:
Name Los Nr 1 Germany__München__
Gewinner None
Datum
Wert None
Anzahl Angebote None

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