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Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 300mm pour de l’inspection optique face avant, capable de détecter des défauts d’une taille minimale de 150 nm pour de l’inspection microscopique, et des tailles de défauts supérieurs à 10µm pour de l’inspection macroscopique. Deux modules optionnels sont ciblés: un outil d’inspection face arrière et un outil avancé de revue permettant une imagerie haute résolution. Le marché envisagé comprend deux options à chiffrage obligatoire et quatre options à chiffrage facultatif : - Options avec chiffrage obligatoire : . Option 1 (fourniture optionnelle) : Module d’inspection face arrière . Option 2 (fourniture optionnelle) : Module de revue de défaut haute résolution - Options avec chiffrage facultative : . Option 3 (fourniture optionnelle) : Transformateur électrique . Option 4 (prestation optionnelle) : Formation maintenance niveau 1 . Option 5 (prestation optionnelle) : Formation maintenance avancée . Option 6 (prestation optionnelle) : Extension de garantie d'un an supplémentaire

Fourniture d’un équipement 300mm pour de l’inspection optique face avant

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