Fourniture d'un système de nano lithographie électronique pouvant accommoder des plaquettes de 6 pouces.

L'équipement souhaité, de conception dédiée à la nano-lithographie électronique, sera utilisé pour les projets de la plateforme de technologie nécessitant la réalisation de motifs de lithographie par écriture directe par faisceau d'électrons. Il sera principalement destiné aux procédés de lithographie pour la réalisation de dispositifs optoélectroniques, de tampons maîtres pour le procédés de nano imprinting et pour la réalisation de masques pour l'épitaxie sélective pour lesquels il permettra de réaliser des structures de taille nanométrique dans des résines commerciales standard sur des substrats conducteurs, semi-conducteurs ou isolants.
CPV-Code: 42990000
Abgabefrist: 15.01.2015
Typ: Contract notice
Status: Submission for all lots
Aufgabe: Other
Vergabestelle:
name: Association de préfiguration institut Lafayette
address: 2 rue Marconi
postal_code: 57070
city: Metz - FR
country: FR
email: None
phone: +1 4043855163
contact_point:
idate: 23. Juni 2020 09:44
udate: 23. Juni 2020 09:44
doc: 414866_2014.xml
authority_types:
activities:
Quelle: http://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:414866-2014:TEXT:FR:HTML
Unterlagen: None
Zuschlagskriterium: The most economic tender
Vertrag: Supply contract
Prozedur: Open procedure
Nuts: FR413
Veröffentlichung: 06.12.2014
Erfüllungsort: Metz - FR
Link:
Lose:
Name Los Nr 1 France__Metz__Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Gewinner None
Datum
Wert None
Anzahl Angebote None