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Four de recuit pour applications BEOL

Le CEA LETI souhaite acquérir les trois équipements suivants : Lot 1 : Equipement traitement thermique pour des procédés LPCVD (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition), en mode batch pour des applications microélectroniques aux nœuds technologiques 10nm et au-delà, sur des plaques de silicium 300mm. Lot 2 : Equipement de traitements thermiques rapides (RTP) pour l'ingénierie de grille de transistors aux nœuds technologiques 10nm et au-delà. Lot 3 : Equipement de traitement thermique pour réaliser des recuits en mode batch sur les briques BEOL de transistors FDSOI au nœud technologique 10nm. Ces équipements seront installés dans les salles blanches du CEA LETI où ils seront utilisés 7jours /7.
CPV-Code: 31712100
Abgabefrist: 15.09.2022
Typ: Contract notice
Status: Submission for all lots
Aufgabe: Other
Vergabestelle:
name: CEA/Grenoble
address: 17 Rue des Martyrs
postal_code: 38054
city: GRENOBLE CEDEX 9 - FR
country: FR
email: None
phone: +33 438781186
contact_point: M ZEMERLI Thomas
idate: 23. August 2022 07:50
udate: 23. August 2022 07:50
doc: 436760_2022.xml
authority_types:
activities:
Quelle: https://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:436760-2022:TEXT:FR:HTML
Unterlagen: https://www.marches-publics.gouv.fr
Zuschlagskriterium: The most economic tender
Vertrag: Supplies
Prozedur: Open procedure
Nuts: None
Veröffentlichung: 10.08.2022
Erfüllungsort: Grenoble -
Link:
Lose:
Name Los Nr 1
Gewinner None
Datum
Wert None
Anzahl Angebote None

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