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Equipement de dépôt diélectriques low-k pour damascene BEOL

Le présent appel d'offres a pour objet la fourniture des équipements de dépôt - DEP, pour le compte du CEA/LETI, suivants : o Lot n°1 : Equipement de dépôt métaux par PVD pour empilement de grille o Lot n°2 : Equipement de dépôt électrochimique de cuivre pour damascene BEOL o Lot n°3 : Equipement de dépôt diélectriques conformes pour applications FEOLMOL o Lot n° 4 : Equipement de dépôt diélectriques par PECVD pour remplissage FEOL o Lot n° 5 : Equipement de dépôt diélectriques low-k pour damascene BEOL Ces équipements seront installés dans les salles blanches du CEA LETI où ils seront utilisés 7jours /7.
CPV-Code: 31712100
Abgabefrist: 19.09.2022
Typ: Contract notice
Status: Submission for all lots
Aufgabe: Other
Vergabestelle:
name: CEA/Grenoble
address: 17 Rue des Martyrs
postal_code: 38054
city: GRENOBLE CEDEX 9 - FR
country: FR
email: None
phone: +33 438783522
contact_point: Mme Louisa SIDHOUMI
idate: 25. August 2022 07:24
udate: 25. August 2022 07:24
doc: 440481_2022.xml
authority_types:
activities:
Quelle: https://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:440481-2022:TEXT:FR:HTML
Unterlagen: https://www.marches-publics.gouv.fr
Zuschlagskriterium: The most economic tender
Vertrag: Supplies
Prozedur: Open procedure
Nuts: None
Veröffentlichung: 12.08.2022
Erfüllungsort: Grenoble -
Link:
Lose:
Name Los Nr 1
Gewinner None
Datum
Wert None
Anzahl Angebote None

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