Ausschreibungen

L’EPFL a l’intention d’acquérir un système automatique de couchage et développement de plaques. Une grande importance sera accordée non seulement à la qualité des procédés et au temps de passage par tranche, mais également à la robustesse de l’équipement, à sa facilité d’utilisation et d’administration, à sa rapidité d’apprentissage. La performance des procédés sera évaluée en termes d’uniformité de couchage et développement et reproductibilité du contrôle des dimensions critiques: — assemblage modulaire de blocs à grande capacité de traitement avec: —— possibilité de manipuler de cassette à cassette des tranches SEMI de 100 et 150 mm, —— des stations de couchage séquentiel d’antireflet et résines photosensibles à UV profond, —— un nombre adéquat d’unités thermiques, —— une station de développement de résine photosensible, — facilité d’administration, gestion des recettes et maintenance: —— qualité du support et disponibilité des pièces.

Hochdurchsatz-Wafer-Beschichtungs- und Entwicklungssystem

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