Das Fraunhofer IMS benötigt einen neues oder generalüberholtes („refurbished“) „Belackersystem“. Das System ermöglicht die Belackung von 8‘‘ (200 mm) Wafern mit verschiedenen Fotolacken und die Entwicklung dieser Lacke gemäß der Spezifikationen, welche im „Lastenheft“ aufgeführt sind. Die Wafer werden automatisch durch einen Robot-Handler von mindestens 2 Kassetten beladen. Das Gerät beinhaltet alle Heiz- und Kühlplatten für die nötigen Trocknungs-, Kühl- und Ausbackschritte ebenso wie eine HMDS-Platte. Der Lackdispense soll mit Hilfe von Pumpen realisiert werden. Der Prozess beinhaltet „edge bead removal – EBR“ und „backside rinse – BSR“. Der Lack wird auf der Entwicklerstation mittels „Puddledispense“ des geeigneten Lösemittels entwickelt. Die Anlage beinhaltet eine Software, welche sowohl einen automatischen (operating) als auch manuellen (engineering) Modus für die Belackung und Entwicklung von Wafern erlaubt.
| CPV-Code: |
42990000
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| Abgabefrist: |
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| Typ: |
Contract award notice |
| Status: |
Not applicable |
| Aufgabe: |
Other |
| Vergabestelle: |
| name: |
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe |
| address: |
Hansastr. 27c |
| postal_code: |
80686 |
| city: |
München - DE |
| country: |
DE |
| email: |
None |
| phone: |
None |
| contact_point: |
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| idate: |
18. Juni 2020 14:37 |
| udate: |
18. Juni 2020 14:37 |
| doc: |
456497_2018.xml |
| authority_types: |
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| activities: |
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| Quelle: |
http://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:456497-2018:TEXT:DE:HTML |
| Unterlagen: |
None |
| Zuschlagskriterium: |
The most economic tender |
| Vertrag: |
Supplies |
| Prozedur: |
Competitive procedure with negotiation |
| Nuts: |
None |
| Veröffentlichung: |
18.10.2018 |
| Erfüllungsort: |
München - DE |
| Link: |
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| Lose: |
| Name |
Los Nr 1 None |
| Gewinner |
SUSS MicroTec Lithography GmbH |
| Datum |
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| Wert |
0,01 € |
| Anzahl Angebote |
4 |
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