1 pc. Furnace for LPCVD

The FhG ISIT plans to purchase a “Vertical LPCVD System” with 2 tubes or “2 Vertical LPCVD System". One for the deposition of TEOS and the other tube for the deposition of Ge and phosphor doped Si. New and used equipments are permitted. It should be a automated vertical furnace system designed for min. 100 process wafers with 200 mm diameter. The exhaust vent line for process gas must be connectable to exhaust gas treatment equipment (e.g. scrubber).
CPV-Code: 34999300
Abgabefrist: 02.01.2019
Typ: Contract notice
Status: Submission for all lots
Aufgabe: Other
Vergabestelle:
name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
address: Hansastr. 27c
postal_code: 80686
city: München - DE
country: DE
email: None
phone: None
contact_point:
idate: 12. Juni 2020 23:49
udate: 12. Juni 2020 23:49
doc: 523532_2018.xml
authority_types:
activities:
Quelle: http://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:523532-2018:TEXT:EN:HTML
Unterlagen: None
Zuschlagskriterium: The most economic tender
Vertrag: Supplies
Prozedur: Competitive procedure with negotiation
Nuts: None
Veröffentlichung: 28.11.2018
Erfüllungsort: München - DE
Link:
Lose:
Name Los Nr 1 Germany__München__Maschinen für die Galvanotechnik
Gewinner None
Datum
Wert None
Anzahl Angebote None