Anlage zum reaktiven Ionenätzen für ein breites Spektrum an fluor- und sauerstoffbasierten Ätzprozessen: — isotrope Ätzprofile, — Betrieb mit ICP-Quelle für anisotropen Ätzprofile.
| CPV-Code: |
22520000
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| Abgabefrist: |
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| Typ: |
Voluntary ex ante transparency notice |
| Status: |
Not applicable |
| Aufgabe: |
Other |
| Vergabestelle: |
| name: |
Universität Konstanz |
| address: |
Universitätsstraße 10 |
| postal_code: |
78464 |
| city: |
Konstanz - DE |
| country: |
DE |
| email: |
None |
| phone: |
+49 7531884895 |
| contact_point: |
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| idate: |
1. Januar 2021 08:15 |
| udate: |
1. Januar 2021 08:15 |
| doc: |
607351_2020.xml |
| authority_types: |
|
| activities: |
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| Quelle: |
http://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:607351-2020:TEXT:DE:HTML |
| Unterlagen: |
None |
| Zuschlagskriterium: |
Not specified |
| Vertrag: |
Supplies |
| Prozedur: |
Negotiated without a prior call for competition |
| Nuts: |
None |
| Veröffentlichung: |
16.12.2020 |
| Erfüllungsort: |
Konstanz - |
| Link: |
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| Lose: |
| Name |
Los Nr 1 None |
| Gewinner |
Oxford Instruments Plasma Technology |
| Datum |
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| Wert |
295 143,00 € |
| Anzahl Angebote |
1 |
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