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Fourniture d’un équipement ALE-ALD pour wafers 200mm - relance suite appel d'offre n°AOO-B23-03215-CF infructueux

L'institut de recherche IRIG du CEA Grenoble souhaite acquérir un cluster ALE-ALD pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs pour l'informatique quantique. L'équipement devra permettre le traitement de plaquettes de 200 mm et plus petits. L'équipement se composera de deux chambres, reliées sous vide par un bras robotisé, dans lesquelles les plaquettes seront chargées via un sas de chargement. La première chambre sera dédiée à la gravure des matériaux semi-conducteurs, du silicium et du germanium, de leurs alliages et de leurs oxydes. La gravure est effectuée par Atomic Layer Etching (ALE). La deuxième chambre sera dédiée au dépôt de matériaux d'oxyde et de nitrure, d'oxyde d'aluminium, d'oxyde de silicium, de nitrure de titane, de nitrure d'aluminium et de nitrure de niobium.
CPV-Code: 31712100
Abgabefrist: 13.11.2023
Typ: Contract notice
Status: Submission for all lots
Aufgabe: Other
Vergabestelle:
name: CEA Grenoble
address: 17 Rue des Martyrs
postal_code: 38054
city: GRENOBLE CEDEX 9 - FR
country: FR
email: None
phone: +33 438783158
contact_point: Charlotte FRITSCH
idate: 18. Oktober 2023 08:27
udate: 18. Oktober 2023 08:27
doc: 629760_2023.xml
authority_types:
activities:
Quelle: https://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:629760-2023:TEXT:FR:HTML
Unterlagen: https://www.marches-publics.gouv.fr
Zuschlagskriterium: The most economic tender
Vertrag: Supplies
Prozedur: Open procedure
Nuts: None
Veröffentlichung: 18.10.2023
Erfüllungsort: Grenoble -
Link:
Lose:
Name Los Nr 1 France__Grenoble__Mikroelektronische Maschinen und Geräte
Gewinner None
Datum
Wert None
Anzahl Angebote None

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