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Fourniture d'un équipement de gravure par plasma pour applications contact et BEOL pour le compte du CEA Grenoble

Le CEA-LETI souhaite faire l'acquisition d'un équipement de gravure par plasma de masques durs métalliques et de matériaux diélectriques, chalcogénures,...Cet équipement est destiné à traiter des plaques 300mm pour la réalisation des niveaux contact et BEOL des transistors FDSOI au nœud 10nm et au-delà.
CPV-Code: 31712100
Abgabefrist:
Typ: Contract award notice
Status: Not applicable
Aufgabe: Other
Vergabestelle:
name: CEA/Grenoble
address: 17 Rue des Martyrs
postal_code: 38054
city: GRENOBLE CEDEX 9 - FR
country: FR
email: None
phone: +33 438783522
contact_point: Mme Louisa SIDHOUMI
idate: 16. November 2022 09:16
udate: 16. November 2022 09:16
doc: 633794_2022.xml
authority_types:
activities:
Quelle: https://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:633794-2022:TEXT:FR:HTML
Unterlagen: None
Zuschlagskriterium: The most economic tender
Vertrag: Supplies
Prozedur: Open procedure
Nuts: None
Veröffentlichung: 15.11.2022
Erfüllungsort: Grenoble -
Link:
Lose:
Name Los Nr 1 None
Gewinner None
Datum
Wert None
Anzahl Angebote None

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