Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) Anlage

L’EPFL a l’intention d’acquérir un équipement de dépôt PECVD pour le centre de MicroNanoTechnologie (CMi). Cet équipement sera dédié à la recherche de pointe dans le domaine de la micro/nano fabrication. Le CMi est une installation de salles blanches dédiée à la micro/nano fabrication, centrale pour l’ensemble des facultés de l’EPFL, ainsi que pour les industriels locaux (>500 utilisateurs actifs par an). Les dépôts PECVD est une technologie essentielle pour le domaine de la micro/nano fabrication. Une grande importance sera accordée non seulement à la qualité des dépositions, mais également à la facilité d’utilisation de l’équipement, à sa simplicité/rapidité d’apprentissage pour les nouveaux utilisateurs et à sa flexible mais néanmoins robuste capacité de contrôle de procédés de dépositions dans un environnement type R&D.
CPV-Code: 38000000
Abgabefrist: 31.01.2022
Typ: Contract notice
Status: Submission for all lots
Aufgabe: Other
Vergabestelle:
name: Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL) Vice-présidence académique VPA AVP-CP-ECO
address: BI A2 447 (Bâtiment BI) Station 7
postal_code: 1015
city: Lausanne - CH
country: CH
email: None
phone: None
contact_point: Jérôme Butty
idate: 24. Dezember 2021 12:31
udate: 24. Dezember 2021 12:31
doc: 665464_2021.xml
authority_types:
activities:
Quelle: https://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:665464-2021:TEXT:FR:HTML
Unterlagen: http://www.simap.ch/shabforms/servlet/Search?NOTICE_NR=1236493
Zuschlagskriterium: The most economic tender
Vertrag: Supplies
Prozedur: Open procedure
Nuts: None
Veröffentlichung: 24.12.2021
Erfüllungsort: Lausanne -
Link:
Lose:
Name Los Nr 1 Switzerland__Lausanne__Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Gewinner None
Datum
Wert None
Anzahl Angebote None