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Fourniture et installation d’un équipement automatique pour plaques 200mm de gravure par faisceau d'ions

Le CEA Leti souhaite acquérir un équipement automatique pour plaques 200mm de gravure par faisceau d'ions avec une solution de dépôt de silicium nitruré (en option) La chambre de gravure par faisceau d'ions doit pouvoir effectuer une gravure par faisceau d'ions réactif (RIBE) et une gravure par faisceau d'ions assistée chimiquement (CAIBE) avec des gaz d'argon, d'oxygène, de fluor et de chlore. L'équipement doit traiter différents types de plaques de 200 mm (collées, silicium sur verre ou silicium sur silicium) et d'épaisseurs variables (de 500 à 1500 um).
CPV-Code: 31712100
Abgabefrist: 28.07.2024
Typ: ContractNotice
Status: None
Aufgabe: None
Vergabestelle:
name: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
address: 17 avenue des martyrs Grenoble
postal_code: 38054
city: Grenoble - FR
country: FR
email: sophie.negre@cea.fr
phone: +33 438786771
contact_point: Sophie Nègre +33 438786771 sophie.negre@cea.fr
idate: 28. Juni 2024 08:04
udate: 28. Juni 2024 08:04
doc:
authority_types:
activities:
Quelle: https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/00384219-2024
Unterlagen: https://www.marches-publics.gouv.fr
Zuschlagskriterium: price
Vertrag: None
Prozedur: None
Nuts: None
Veröffentlichung: 28.06.2024
Erfüllungsort: Grenoble - FR
Link:
Lose:
Name Los Nr 1 None
Gewinner None
Datum
Wert None
Anzahl Angebote None

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