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Fourniture d’un équipement de type « wet bench »

Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de type wet bench pour sa salle-blanche. L’équipement vise des nettoyages FEOL pour une large gamme d’applications dans les semi-conducteurs. Cet équipement devra réaliser des séquences de nettoyages chimiques standards basées sur du SC1, SC2, acide fluorhydrique (HF), ozone et du séchage à base d’isopropanol (IPA). Les dilutions et mélanges chimiques doivent pourvoir être flexibles et préparés d’une manière automatisée. L’équipement doit inclure un cabinet chimique chauffé dédié aux acides et bases, où le remplissage est manuel. Cet équipement doit pouvoir traiter une large gammes de plaques : des susbtrats de différents diamètres, épaisseurs et matériaux.
CPV-Code: 31712100
Abgabefrist: 01.08.2024
Typ: ContractNotice
Status: None
Aufgabe: None
Vergabestelle:
name: CEA/GRENOBLE
address: 17 avenue des Martyrs Grenoble
postal_code: 38054
city: Grenoble - FR
country: FR
email: claire.moreau-flachat@cea.fr
phone: 0438789943
contact_point: Claire MOREAU-FLACHAT 0438789943 claire.moreau-flachat@cea.fr
idate: 27. Juli 2024 08:26
udate: 27. Juli 2024 08:26
doc:
authority_types:
activities:
Quelle: https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/00449845-2024
Unterlagen: https://www.marches-publics.gouv.fr/entreprise
Zuschlagskriterium: price
Vertrag: None
Prozedur: None
Nuts: None
Veröffentlichung: 25.07.2024
Erfüllungsort: Grenoble - FR
Link:
Lose:
Name Los Nr 1 None
Gewinner None
Datum
Wert None
Anzahl Angebote None

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