16.12.2022 |
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Reaktive Ionenätzanlage mit induktiv gekoppeltem Plasma (RIE ICP)
31640000
LMU München, Fakultät für Physik, LS Efetov
Los 1
Gewinner:
Sentech GmbH
Angebote:
1
| Summe:
305 432,00 €
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Contract award notice
698282-2022
Germany
München
Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion
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09.12.2022 |
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equipement de dépôt par plasma de type ICPCVD
31712100
cnrs delegation alpes
Los 1
Gewinner:
sentech instruments gmbh
Angebote:
4
| Summe:
449 454,00 €
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Contract award notice
687782-2022
France
Grenoble
Mikroelektronische Maschinen und Geräte
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04.02.2022 |
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Fornitura, installazione e resa operativa di un “Sistema per attacchi in plasma” - inductively coupled plasma (ICP) Numero di riferimento: CIG 861704…
38970000
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - Consiglio Nazionale delle Ricerche
Los 1
Gewinner:
SENTECH INSTRUMENTS GMBH
Angebote:
1
| Summe:
394 000,00 €
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Contract award notice
061553-2022
Italy
Catania
Technischer Simulator für Forschung, Prüfungen und Wissenschaft
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02.11.2021 |
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Dostawa urządzenia do plazmowego nanoszenia cienkich warstw ICP-CVD
38540000
Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Elektronowej
Los 1
Gewinner:
SENTECH Instruments GmbH
Angebote:
1
| Summe:
336 167,00 €
|
Modification of a contract/concession during its term
559026-2021
Poland
Warschau
Maschinen und Geräte zum Prüfen und Messen
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20.10.2021 |
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Dostawa urządzenia do plazmowego nanoszenia cienkich warstw ICP-CVD
38540000
Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Elektronowej
Los 1
Gewinner:
SENTECH Instruments GmbH
Angebote:
1
| Summe:
336 167,00 €
|
Modification of a contract/concession during its term
533079-2021
Poland
Warschau
Maschinen und Geräte zum Prüfen und Messen
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27.08.2021 |
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Kombinierte ALD-PVD/CVD-Beschichtungsanlage als Clustertool
38000000
Leibniz-Institut für Photonische Technologien
Los 1
Gewinner:
Sentech GmbH
Angebote:
1
| Summe:
1 086 937,00 €
|
Contract award notice
433387-2021
Germany
Jena
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
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15.01.2021 |
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UCC — RFT a Plasma Chemical Vapour Deposition System for Compound Semiconductors for the Tyndall National Institute
38000000
Education Procurement Service (EPS)
Los 1
Gewinner:
SENTECH Instruments GmbH
Angebote:
3
| Summe:
643 250,00 €
|
Contract award notice
017357-2021
Ireland
Castletroy
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
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31.12.2020 |
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Fornitura, installazione e resa operativa di un ellissometro spettroscopico in situ per sistema ALD — CIG: 8478563B84.
38970000
Istituto per la microelettronica e microsistemi — Consiglio nazionale delle ricerche
Los 1
Gewinner:
Sentech GmbH
Angebote:
1
| Summe:
94 262,00 €
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Voluntary ex ante transparency notice
641090-2020
Italy
Catania
Technischer Simulator für Forschung, Prüfungen und Wissenschaft
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24.11.2020 |
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Plasmaätzanlage für Fluorchemie
38000000
Leibniz-Institut für Photonische Technologien
Los 1
Gewinner:
Sentech GmbH
Angebote:
1
| Summe:
365 200,00 €
|
Contract award notice
563848-2020
Germany
Jena
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
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28.04.2020 |
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Acquisition, installation, livraison et mise en service d'un dispositif de gravure ionique réactive utilisant des gaz fluorés pour le Centre de nanos…
22520000
Centre national de la recherche scientifique
Los 1
Gewinner:
Sentech Instruments GmbH
Angebote:
4
| Summe:
299 116,00 €
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Contract award notice
195971-2020
France
Gif-sur-Yvette
Trockenätzausrüstung
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09.04.2020 |
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Dostawa urządzenia do plazmowego nanoszenia cienkich warstw ICP-CVD
38540000
Sieć Badawcza Łukasiewicz, Instytut Technologii Elektronowej
Los 1
Gewinner:
Sentech Instruments GmbH
Angebote:
2
| Summe:
336 167,00 €
|
Contract award notice
168560-2020
Poland
Warschau
Maschinen und Geräte zum Prüfen und Messen
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07.10.2019 |
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Clusterfähige PEALD/ ICPECVD
38000000
Universität Duisburg-Essen
Los 1
Gewinner:
SENTECH GmbH
Angebote:
1
| Summe:
546 175,64 €
|
Contract award notice
468492-2019
Germany
Duisburg
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
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05.06.2019 |
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Lieferung einer Anlage für Reaktives Ionenätzen (RIE)
38000000
Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Los 1
Gewinner:
Sentech GmbH
Angebote:
2
| Summe:
1,00 €
|
Contract award notice
260912-2019
Germany
Braunschweig
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
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21.01.2019 |
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ICP-Ätzanlage SI500
38400000
ICP-Ätzanlage SI500
Los 1
Gewinner:
Sentech GmbH
Angebote:
1
| Summe:
1,00 €
|
Contract award notice
028622-2019
Germany
Hamburg
Instrumente zum Prüfen von physikalischen Eigenschaften
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10.01.2019 |
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Tranche ferme: fourniture, installation et mise en ordre de marche d'une machine de dépôt chimique de couches atomiques avec plasma (PE-ALD)
22520000
CNRS — Délégation Midi-Pyrénées
Los 1
Gewinner:
Sentech Instruments GMBH
Angebote:
1
| Summe:
340 340,00 €
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Contract award notice
011462-2019
France
Toulouse
Trockenätzausrüstung
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10.01.2019 |
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Tranche ferme: fourniture, installation et mise en ordre de marche d'une machine de dépôt chimique de couches atomiques avec plasma (PE-ALD)
22520000
CNRS — Délégation Midi-Pyrénées
Los 2
Gewinner:
Sentech Instruments GMBH
Angebote:
2
| Summe:
284 661,00 €
|
Contract award notice
011462-2019
France
Toulouse
Trockenätzausrüstung
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30.11.2018 |
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Plasma-CVD-Anlage
31000000
Forschungsverbund Berlin e. V.
Los 1
Gewinner:
Sentech GmbH
Angebote:
1
| Summe:
9 999 999 999,00 €
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Contract award notice
527583-2018
Germany
Berlin
Elektrische Maschinen, Geräte, Ausstattung und Verbrauchsartikel; Beleuchtung
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19.10.2018 |
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Acquisition et installation d'un équipement de gravure par plasma de type ICP
31730000
CNRS Délégation Alpes
Los 1
Gewinner:
Sentech instruments GMBH
Angebote:
4
| Summe:
342 000,00 €
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Contract award notice
458837-2018
France
Grenoble
Elektrotechnische Ausstattung
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22.12.2017 |
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PTSA ICP-Ätzer SENTECH SI 500-400
42990000
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
Los 1
Gewinner:
SENTECH GmbH
Angebote:
1
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Contract award notice
514395-2017
Germany
München
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26.10.2017 |
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ALD-Anlage zur hermetischen Passivierung von photonischen III/V Komponenten
42990000
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe
Los 1
Gewinner:
SENTECH GmbH
Angebote:
1
|
Contract award notice
425046-2017
Germany
München
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