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22.01.2026

Abscheidung isotopenreines SiC mittels CVD (Silizium-28-Kohlenstoff-12) aus bereitgestelltem Silan-28 73111000

Brandenburgische Technische Universität Cottbus - Senftenberg Los 1 Abscheidung isotopenreines SiC mittels CVD (Silizium-28-Kohlenstoff-12) aus bereitgestelltem Silan-28

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Abscheidung isotopenreines SiC mittels CVD (Silizium-28-Kohlenstoff-12) aus bereitgestelltem Silan-28