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Fourniture et installation d’un équipement automatique pour plaques 200mm de gravure par faisceau d'ions

Le CEA Leti souhaite acquérir un équipement automatique pour plaques 200mm de gravure par faisceau d'ions avec une solution de dépôt de silicium nitruré (en option) La chambre de gravure par faisceau d'ions doit pouvoir effectuer une gravure par faisceau d'ions réactif (RIBE) et une gravure par faisceau d'ions assistée chimiquement (CAIBE) avec des gaz d'argon, d'oxygène, de fluor et de chlore. L'équipement doit traiter différents types de plaques de 200 mm (collées, silicium sur verre ou silicium sur silicium) et d'épaisseurs variables (de 500 à 1500 um).
CPV-Code: 31712100
Abgabefrist:
Typ: ContractAwardNotice
Status: None
Aufgabe: None
Vergabestelle:
name: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
address: 17 avenue des martyrs Grenoble
postal_code: 38054
city: Grenoble - FR
country: FR
email: sophie.negre@cea.fr
phone: +33 438786771
contact_point: Sophie Nègre +33 438786771 sophie.negre@cea.fr
idate: 23. Februar 2025 08:33
udate: 23. Februar 2025 08:33
doc:
authority_types:
activities:
Quelle: https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/00108729-2025
Unterlagen: https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/00108729-2025
Zuschlagskriterium: price
Vertrag: None
Prozedur: None
Nuts: None
Veröffentlichung: 01.01.2000
Erfüllungsort: Grenoble - FR
Link:
Lose:
Name Los Nr 1 TEN-0001
Gewinner None
Datum
Wert 1,00 €
Anzahl Angebote 2

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