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Equipement de 300mm de gravure sélective Si-SiGe - Dry selective_SiSiGe_etching tool

Le CEA Leti, pour ses activités de recherche, qui visent à développer les technologies FDSOI 10nm et au-delà (FDSOI10), souhaite faire l’acquisition d’un équipement de gravure FEOL/MEOL pour sa salle-blanche. L’équipement sera capable de traiter des wafers de 300mm et permettra la gravure hautement sélective et isotropique du silicium (Si) et silicium-germanium (SiGe). Il comprend les options à réponses obligatoires suivantes : - Option 1 : Process 7 (gravure du spacer SiCO) - Option 2 :Process 8 (gravure du spacer et SADP) - Option 3 : Formation de maintenance Niveau 1 Ainsi que le coût des options à réponses facultatives : - Option 4 : Échangeurs de chaleur (Heat exchangers) et systèmes de refroidissement (chillers) (Section 3.2.6) - Option 5 : Transformateur électrique (Power supply transformer) (Section 4.1.4) - Option 6 : Formation de maintenance Avancé (Chapitre 9) - Option 7 : Services de maintenance préventive, corrective et pièces de rechange nécessaires (Section 12.2)
CPV-Code: 31720000 31712100
Abgabefrist: 17.03.2026
Typ: ContractNotice
Status: None
Aufgabe: None
Vergabestelle:
name: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
address: 17 avenue des Martyrs Isère
postal_code: 38000
city: Grenoble - FR
country: FR
email: thomas.zemerli@cea.fr
phone: 0675022569
contact_point: Thomas ZEMERLI 0675022569 thomas.zemerli@cea.fr
idate: 16. Februar 2026 09:11
udate: 16. Februar 2026 09:11
doc:
authority_types:
activities:
Quelle: https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/00108390-2026
Unterlagen: https://www.marchespublics.gouv.fr
Zuschlagskriterium: price
Vertrag: None
Prozedur: None
Nuts: None
Veröffentlichung: 15.02.2026
Erfüllungsort: Grenoble - FR
Link:
Lose:
Name Los Nr 1 None
Gewinner None
Datum
Wert None
Anzahl Angebote None

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