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Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement 300 mm de dépôts métalliques pour les applications BEOL. Il est destiné à réaliser des étapes de pre-clean (retrait CuOx), dépôts barrier TaN, liner Co et Cu seed pour les interconnexions cuivre avancées, telles que requises pour les nœuds technologiques FDSOI 7 nm et au-delà. L'équipement devra également avoir la capacité à réaliser des dépôts sélectif de capping Co pour limiter la diffusion du cuivre. Le présent marché comporte : • Une tranche optionnelle n°1 relative à la fourniture d’une chambre PVD pour le dépôt ALCu (Procédé 6). Le présent marché comporte également les options obligatoires suivantes : • Option n°1 : Fourniture d’une chambre ALD pour dépôt TaN (Procédé 3) doté d’un plasma permettant de retirer le dépôt SAM, • Option n°2 : Fourniture d’une chambre ALD pour dépôt TaN (Procédé 3), • Option n°3 : Fourniture d’une chambre CVD pour procédé SAM (self-assembled monolayer) (Procédé 5), • Option n°4 : Formation de maintenance de premier niveau, page 32 du cahier des charges, • Option n°5 : Formation de maintenance avancée, page 32 du cahier des charges. Le présent marché comporte les options facultatives suivantes : • Option n°6 : Echangeurs de chaleur et systèmes de refroidissement, page 12 du cahier des charges, • Option n°7 : Transformateur électrique, page 20 du cahier des charges, • Option n°8 : Extension d’une année supplémentaire de la garantie de l’Equipement, • Option n°9 : Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).

Fourniture d’un équipement 300 mm de dépôts métalliques pour les applications BEOL

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