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Fourniture d'un équipement de nettoyage post gravure pour les applications BEOL

Pour ses activités de recherche, qui visent à développer les technologies FDSOI 10 nm et au-delà, le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de nettoyage post gravure pour sa salle-blanche. L’équipement est destiné à traiter des wafers de 300mm en procédant à différents traitements chimiques pour applications BEOL et devra être totalement automatisé. Le marché envisagé comprend les options suivantes : - Options avec chiffrage obligatoire : Option 1 : Capacité à effectuer une purge N2 du FOUP - Options avec chiffrage facultatif : Option 2 : Ajout adapté de H2O2 pendant le procédé de retrait du HardMask Option 3 : Assistance mécanique aux procédés chimiques Option 4 : Formation à la Maintenance 1er niveau Option 5 : Formation à la Maintenance avancée Option 6 : Fourniture d’un échangeur de chaleur et d’un refroidisseur Option 7 : Fourniture d’un transformateur de puissance Option 8 : Le transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)
CPV-Code: 31712100
Abgabefrist: 09.11.2025
Typ: ContractNotice
Status: None
Aufgabe: None
Vergabestelle:
name: CEA/GRENOBLE
address: 17 avenue des Martyrs Grenoble
postal_code: 38054
city: Grenoble - FR
country: FR
email: syrga.turganalieva@cea.fr
phone: 0438783071
contact_point: Syrga TURGANALIEVA 0438783071 syrga.turganalieva@cea.fr
idate: 11. Oktober 2025 08:32
udate: 11. Oktober 2025 08:32
doc:
authority_types:
activities:
Quelle: https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/00665629-2025
Unterlagen: https://www.marches-publics.gouv.fr
Zuschlagskriterium: price
Vertrag: None
Prozedur: None
Nuts: None
Veröffentlichung: 09.10.2025
Erfüllungsort: Grenoble - FR
Link:
Lose:
Name Los Nr 1 None
Gewinner None
Datum
Wert 1,00 €
Anzahl Angebote None

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