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Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d'un scanner de lithographie optique 248 nm. Cet équipement est destiné à traiter des plaques 300mm pour le développement des technologies avancées FDSOI 10 nm et au-delà, et plus particulièrement les niveaux métal, via et implant. Le marché envisagé comprend les options suivantes : - Options avec chiffrage obligatoire : . Option 1 : Possibilité d’utiliser au moins 6 éléments optiques diffractifs . Option 2 : Capacité à traiter des plaques déformées avec un bow compris entre -500 µm et 350 µm . Option 3 : Capacité à traiter des plaques d'épaisseur comprise entre 500 µm et 1 mm - Options avec chiffrage facultatif : . Option 4 : Capacité à manipuler les plaques transparentes . Option 5 : Capacité à corriger finement la topographie des plaques . Option 6 :Transformateur électrique . Option 7 : Formation maintenance niveau 1 . Option 8 : Formation maintenance avancée . Option 9 : Deuxième année de garantie . Option 10 : Transport, assurance comprise, DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)

Fourniture d'un scanner de lithographie optique 248 nm

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