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Fourniture d'un équipement de gravure profonde

Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 200 mm avec une chambre de gravure profonde du silicium de 200 mm. La chambre de gravure profonde du silicium doit pouvoir effectuer des processus de gravure Bosch et non Bosch Si, être compatible avec les gaz fluorés et effectuer la gravure à travers la plaquette. Cet équipement doit pouvoir traiter différents types de substrats en mode automatique, sans modification ni changement matériel : plaquettes collées (silicium sur verre SOG et silicium sur silicium), plaquettes d'épaisseurs différentes, plaquettes avec couches organiques au dos et plaquettes avec cavités gravées au dos. L'outil doit être équipé d'un système de détection de fin de processus OES, d'un système de protection des bords biseautés des plaquettes et d'un système de détection de fin de processus pour la gravure Via Reveal. L'option obligatoire: - Option n°1: Formation maintenance niveau 1 Les options facultatives : -Option n°2: Chiller -Option n°3: Pompe -Option n°4: Transformateur électrique -Option n°5: Formation maintenance avancée -Option n°6: Extension de garantie 1 an supplémentaire
CPV-Code: 31712100
Abgabefrist: 04.01.2026
Typ: ContractNotice
Status: None
Aufgabe: None
Vergabestelle:
name: CEA Grenoble
address: 17 rue des Martyrs Grenoble
postal_code: 38054
city: Grenoble - FR
country: FR
email: laure.reynaud@cea.fr
phone: 06 75 02 30 11
contact_point: Mme. Laure REYNAUD 06 75 02 30 11 laure.reynaud@cea.fr
idate: 3. Dezember 2025 08:32
udate: 3. Dezember 2025 08:32
doc:
authority_types:
activities:
Quelle: https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/00798620-2025
Unterlagen: https://www.marchespublics.gouv.fr
Zuschlagskriterium: price
Vertrag: None
Prozedur: None
Nuts: None
Veröffentlichung: 01.12.2025
Erfüllungsort: Grenoble - FR
Link:
Lose:
Name Los Nr 1 None
Gewinner None
Datum
Wert None
Anzahl Angebote None

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