12.11.2021 |
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PECVD Process module an III-V etch Clusrtertool
38000000
IHP GmbH
Los 1
Gewinner:
SPTS Technologies Limited
Angebote:
1
| Summe:
847 834,00 €
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Contract award notice
577339-2021
Germany
Frankfurt (Oder)
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
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15.05.2020 |
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Cluster tool mit PECVD- und Trockenätzkammer
38000000
IHP GmbH
Los 1
Gewinner:
SPTS Technologies Limited
Angebote:
1
| Summe:
2 727 578,00 €
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Contract award notice
226695-2020
Germany
Frankfurt (Oder)
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
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18.03.2019 |
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Omega fxP Rapier module for Etch System
42990000
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
Los 1
Gewinner:
SPTS Technologies Limited
Angebote:
1
| Summe:
0,01 €
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Contract award notice
124312-2019
Germany
München
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
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14.01.2019 |
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Omega Rapier Module
42990000
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
Los 1
Gewinner:
SPTS Technologies Limited
Angebote:
1
| Summe:
0,01 €
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Contract award notice
016037-2019
Germany
München
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
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16.12.2017 |
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SiC-Ätzer.
42000000
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
Los 1
Gewinner:
SPTS Technologies Limited
Angebote:
3
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Contract award notice
502898-2017
Germany
München
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06.09.2017 |
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Aufrüstung des 300mm DRIE Etch Process System.
42990000
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
Los 1
Gewinner:
SPTS Technologies Limited
Angebote:
1
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Contract award notice
348496-2017
Germany
München
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11.04.2017 |
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Halbleiter Bauelemente.
42990000
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
Los 1
Gewinner:
SPTS Technologies Limited
Angebote:
1
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Contract award notice
134521-2017
Germany
München
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17.07.2015 |
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RIE-Ätzer – BM 048/240327/cl.
42990000
Fraunhofer Gesellschaft e. V.
Los 1
Gewinner:
SPTS Technologies Limited
Angebote:
1
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Contract award notice
250543-2015
Germany
München
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
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05.03.2013 |
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Plasmaätze und -Abschneide
42990000
Fraunhofer-Gesellschaft e. V.
Los 1
Gewinner:
SPTS Technologies Limited
Angebote:
2
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Contract award
071651-2013
D
München
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
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