31.10.2023 |
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Anlagencluster
38000000
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Los 1
Gewinner:
OXFORD Instruments GmbH / Plasma Technology
Angebote:
1
| Summe:
1,00 €
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Contract award notice
664180-2023
Germany
Stuttgart
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
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07.12.2022 |
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ALD AL-PEC
38000000
AMO, Gesellschaft für angewandte Mikro- und Optoelektronik mbH
Los 1
Gewinner:
Oxford Instruments GmbH Plasma
Angebote:
3
| Summe:
1,00 €
|
Contract award notice
679531-2022
Germany
Aachen
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
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02.12.2022 |
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PECVD AL-PEC
38000000
AMO, Gesellschaft für angewandte Mikro- und Optoelektronik mbH
Los 1
Gewinner:
Oxford Instruments GmbH Plasma
Angebote:
1
| Summe:
1,00 €
|
Contract award notice
669849-2022
Germany
Aachen
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
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03.09.2021 |
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Lieferung und Inbetriebnahme einer ICPCVD Plasmaanlage mit hoher Plasmauniformität und gleichmäßiger Oberflächenbearbeitung von bis zu 200 mm großen …
38000000
Max-Planck-Institut für Chemische Energiekonversion
Los 1
Gewinner:
Oxford Instruments GmbH Plasma Technology
Angebote:
1
| Summe:
0,01 €
|
Contract award notice
445459-2021
Germany
Mülheim an der Ruhr
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
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07.10.2020 |
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Plasma ALD-System
38000000
AMO, Gesellschaft für Angewandte Mikro- und Optoelektronik mbH
Los 1
Gewinner:
Oxford Instruments GmbH Plasma
Angebote:
1
| Summe:
1,00 €
|
Contract award notice
471459-2020
Germany
Aachen
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
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28.08.2020 |
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Ergänzung des Reinraum-Equipments mit einer weiteren FlexAL ALD der Firma Oxford Instruments
38540000
Forschungszentrum Jülich GmbH
Los 1
Gewinner:
Oxford Instruments GmbH Plasma Technology
Angebote:
1
| Summe:
1,00 €
|
Contract award notice
403084-2020
Germany
Jülich
Maschinen und Geräte zum Prüfen und Messen
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05.08.2020 |
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Mischeinsatz für vorhandene Magnete der Fa. Oxford Instruments
38540000
Forschungszentrum Jülich GmbH
Los 1
Gewinner:
Oxford Instruments GmbH Plasma Technology
Angebote:
1
| Summe:
1,00 €
|
Contract award notice
367349-2020
Germany
Jülich
Maschinen und Geräte zum Prüfen und Messen
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30.06.2020 |
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HAR/Nano-ICP-Trockenätzanlage
38000000
Technische Universität Braunschweig - Abteilung 22 Vergaberecht und Beschaffung
Los 1
Gewinner:
Oxford Instruments GmbH Plasma
Angebote:
1
| Summe:
415 150,00 €
|
Contract award notice
303681-2020
Germany
Braunschweig
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
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29.05.2020 |
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Wartungsvertrag für diverse Anlagen der Fa. Oxford Instruments
38540000
Forschungszentrum Jülich GmbH
Los 1
Gewinner:
Oxford Instruments GmbH Plasma Technology
Angebote:
1
| Summe:
1,00 €
|
Contract award notice
250691-2020
Germany
Jülich
Maschinen und Geräte zum Prüfen und Messen
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14.04.2020 |
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PECVD System
38000000
Universität Stuttgart
Los 1
Gewinner:
Oxford Instruments GmbH Plasma
Angebote:
2
| Summe:
1,00 €
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Contract award notice
174205-2020
Germany
Stuttgart
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
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29.01.2019 |
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PECVD-Anlage
38432100
Universität Konstanz
Los 1
Gewinner:
Oxford Instruments GmbH Plasma Technology
Angebote:
1
| Summe:
294 000,00 €
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Voluntary ex ante transparency notice
043221-2019
Germany
Konstanz
Gasanalysegeräte
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13.12.2013 |
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ALD-Anlage - BM 005/225505/cl
42990000
Fraunhofer Gesellschaft e. V.
Los 1
Gewinner:
Oxford Instruments GmbH Plasma Technology
Angebote:
1
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Contract award
421076-2013
Germany
München
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
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10.01.2013 |
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Plasmaätzanlage.
42000000
Fraunhofer-Gesellschaft e. V.
Los 1
Gewinner:
Oxford Instruments GmbH Plasma Technology
Angebote:
2
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Contract award
006926-2013
D
München
Industrielle Maschinen
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12.05.2012 |
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ALD - Anlage.
42000000
Fraunhofer-Gesellschaft e.V.
Los 1
Gewinner:
Oxford Instruments GmbH Plasma Technology
Angebote:
3
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Contract award
149672-2012
D
München
Industrielle Maschinen
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12.04.2012 |
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ICP-Trockenätzanlage.
31640000
Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg, Abt. Beschaffungswesen
Los 1
Gewinner:
Oxford Instruments GmbH, Plasma Technology
Angebote:
3
| Summe:
260 773,00 €
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Contract award
117537-2012
D
Magdeburg
Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion
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21.02.2012 |
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Ionenätzanlage mit ICP-Reaktor.
42000000
Fraunhofer-Gesellschaft e.V.
Los 2
Ionenätzanlage mit ICP-Reaktor.
Gewinner:
Oxford Instruments GmbH Plasma Technology
Angebote:
4
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Contract award
055603-2012
D
München
Industrielle Maschinen
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15.12.2011 |
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Plasmaanlage zum Trockenätzen.
42000000
Fraunhofer Gesellschaft e.V.
Los 1
Gewinner:
Oxford Instruments GmbH Plasma Technology
Angebote:
3
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Contract award
390304-2011
D
München
Industrielle Maschinen
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15.12.2011 |
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Plasmaanlage.
42000000
Fraunhofer Gesellschaft e.V.
Los 1
Gewinner:
Oxford Instruments GmbH Plasma Technology
Angebote:
1
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Contract award
390310-2011
D
München
Industrielle Maschinen
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01.01.2000 |
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(Auftrag) ICP-RIE Ätzanlage
31640000
Technische Universität Braunschweig - Abteilung 22 Vergaberecht und Beschaffung - Zentrale Vergabestelle
Los 1
TEN-0001
Gewinner:
Oxford Instruments GmbH Plasma
Angebote:
4
| Summe:
478 039,49 €
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ContractAwardNotice
d821d080-9b81-4030-9153-5bdcc8f8a779
(Auftrag) ICP-RIE Ätzanlage
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