02.10.2025 |
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Beschaffung einer hybriden Plasmaätz- und Beschichtungsanlage
31640000
Ludwig-Maximilians-Universität München
Los 1
TEN-0001
Gewinner:
SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Angebote:
1
| Summe:
690 940,00 €
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ContractAwardNotice
9835b136-2dee-42ba-b8bd-d8ab63b3aa08
Beschaffung einer hybriden Plasmaätz- und Beschichtungsanlage
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26.06.2025 |
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Spectroscopic ellipsometer
38400000
Umeå universitet
Los 1
TEN-0003
Gewinner:
SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Angebote:
3
| Summe:
2 211 490,00 Skr
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ContractAwardNotice
ffcda7ea-e75c-43da-a0a2-2e930e9b0707
Spectroscopic ellipsometer
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20.10.2023 |
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Auftragsvergabe SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
38000000
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Los 1
Gewinner:
SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Angebote:
1
| Summe:
204 336,25 €
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Contract award notice
634691-2023
Germany
Frankfurt (Oder)
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
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25.11.2022 |
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ICP-Ätzanlage
42990000
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Los 1
Gewinner:
SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Angebote:
1
| Summe:
0,01 €
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Contract award notice
652953-2022
Germany
München
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
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05.08.2022 |
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Lieferung eines Atomlagenabscheidungsystems gemäß Leistungsbeschreibung
31712000
Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Los 1
Gewinner:
SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Angebote:
3
| Summe:
1,00 €
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Contract award notice
427720-2022
Germany
Braunschweig
Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme
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01.07.2022 |
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Cluster-Ätzanlage
42990000
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf C2
Los 1
Gewinner:
SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Angebote:
1
| Summe:
0,01 €
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Contract award notice
353221-2022
Germany
München
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
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01.04.2022 |
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Nachrüsten einer ICP-basierten Beschichtungskammer an DEP-CVD-03
31000000
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Los 1
Gewinner:
SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Angebote:
1
| Summe:
345 000,00 €
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Contract award notice
169743-2022
Germany
Berlin
Elektrische Maschinen, Geräte, Ausstattung und Verbrauchsartikel; Beleuchtung
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27.12.2021 |
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ICP-Ätzanlage
38400000
Technische Universität Chemnitz
Los 1
Gewinner:
SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Angebote:
1
| Summe:
1,00 €
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Contract award notice
666816-2021
Germany
Chemnitz
Instrumente zum Prüfen von physikalischen Eigenschaften
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30.04.2021 |
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E_079_236513 ksp-pehue Plasmaunterstützte Atomic Layer Etching Anlage
42990000
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf und Gerätewirtschaft C2
Los 1
Gewinner:
SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Angebote:
1
| Summe:
0,01 €
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Contract award notice
214949-2021
Germany
München
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
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13.04.2021 |
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ICP-RIE-Plasmaätzanlage
42990000
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung Einkauf und Gerätewirtschaft C 2 – Vergabestelle Bau
Los 1
Gewinner:
SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Angebote:
2
| Summe:
0,01 €
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Contract award notice
180603-2021
Germany
München
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
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26.02.2021 |
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Auftragsvergabe SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
38433000
Universität des Saarlandes
Los 1
Gewinner:
SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Angebote:
2
| Summe:
336 000,00 €
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Contract award notice
098373-2021
Germany
Saarbrücken
Spektrometer
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02.11.2020 |
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ICP Ätzanlage SI500 Sentech
42990000
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
Los 1
Gewinner:
SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Angebote:
1
| Summe:
0,01 €
|
Contract award notice
521636-2020
Germany
München
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
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04.09.2020 |
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Lieferung einer Beschichtungsanlage nach der Plasma-Enhanced-Chemical-Vapor-Deposition-Methode (PECVD-Beschichtungsanlage)
42990000
Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Los 1
Gewinner:
Sentech Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Angebote:
3
| Summe:
1,00 €
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Contract award notice
414188-2020
Germany
Braunschweig
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
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15.05.2020 |
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Weitbereichsspektralellipsometrie-System für Analyseaufgaben
38433000
TU Ilmenau SG Beschaffung
Los 1
Gewinner:
Sentech Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Angebote:
1
| Summe:
490 006,28 €
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Contract award notice
226834-2020
Germany
Ilmenau
Spektrometer
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12.12.2019 |
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Diamantätzer
31000000
Forschungsverbund Berlin e. V. – Gemeinsame Verwaltung
Los 1
Gewinner:
SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Angebote:
1
| Summe:
0,01 €
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Contract award notice
588752-2019
Germany
Berlin
Elektrische Maschinen, Geräte, Ausstattung und Verbrauchsartikel; Beleuchtung
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29.11.2019 |
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RIE-Ätzer
38000000
Forschungsverbund Berlin e. V. – Gemeinsame Verwaltung
Los 1
Gewinner:
Sentech Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Angebote:
1
| Summe:
0,01 €
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Contract award notice
566262-2019
Germany
Berlin
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
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18.10.2019 |
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Atomic Layer Depositionsanlage
38400000
Universität Bielefeld
Los 1
Gewinner:
SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Angebote:
1
| Summe:
316 000,00 €
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Contract award notice
490967-2019
Germany
Bielefeld
Instrumente zum Prüfen von physikalischen Eigenschaften
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29.08.2019 |
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ICP-Plasmaätzer
42990000
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
Los 1
Gewinner:
Sentech Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Angebote:
1
| Summe:
0,01 €
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Contract award notice
406508-2019
Germany
München
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
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04.02.2019 |
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Reaktives Ionenätzsystem
38000000
Max-Planck-Institut für Struktur und Dynamik der Materie
Los 1
Gewinner:
SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Angebote:
1
| Summe:
0,01 €
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Contract award notice
052632-2019
Germany
Hamburg
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
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30.11.2018 |
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Los 2 – Fluor-Chargenätzer
73000000
Leibniz-Institut für Photonische Technologien e. V.
Los 1
Gewinner:
Sentech Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Angebote:
1
| Summe:
198 400,00 €
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Contract award notice
527568-2018
Germany
Jena
Forschungs- und Entwicklungsdienste und zugehörige Beratung
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